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《不同镀层结构的金属外壳盐雾试验分析》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第37卷第5期微电子学Vol137,No.52007年10月MicroelectronicsOct12007不同镀层结构的金属外壳盐雾试验分析黄代会(中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆400060)摘要:集成电路外壳的抗盐雾腐蚀能力是由材料、冶金、电镀工艺及镀层结构等多种因素决定的。对三种底材的三种镀层结构进行抗盐雾对比试验,并对三种结构的失效概率进行了统计分析。结果表明,在镀层达到一定厚度后,采用镍与金的交叉镀层结构抗盐雾能力最强,最差的是镍层加金层结构的镀层外壳。关键词:集成电路外壳;金属外壳;交叉镀层;抗盐雾中图分类号
2、:TN406文献标识码:A文章编号:1004-3365(2007)05-0685-04AnalysisofSaltSprayExperimentonMetalCasewithDifferentCoatingsHUANGDa-ihui(SichuanInstituteofSolid-StateCircuits,ChinaElectronicsTechnologyGroupCorp.,Chongqing400060,P.R.China)Abstract:Experimentswereconductedonresistanceofthr
3、eecoatingstosaltspray,andastatisticanalysiswasmadeonfailureprobabilityofthethreestructures.Theresultindicatedthat,forcertainthicknessofcoatings,themetalcasewithinterleavednickelandgoldcoatingshasthestrongestresistancetosaltspray,whilethestructureofnickelandgoldcoating
4、shastheweakestresistance.Keywords:ICpackage;Metalcase;Interleavednickelandgoldcoating;SaltsprayresistanceEEACC:0170N2.2盐雾试验方法1引言本文进行的试验为模拟盐雾环境试验,按GJB548A方法1009A,试验时间为24h。盐雾试验随着集成电路的不断发展,用户对集成电路外主要技术参数:盐溶液浓度为1%,在35?3e下测壳的表面防腐性能要求越来越高。比如,要求外壳量,盐液的pH值为6.5~7.2,压力为7.0psi,流
5、量2具有防盐雾能力。但目前部份外壳生产方还没有完为0.45L/h;盐雾沉降率为80cm的收集器,每小全具备这方面的技术实力,只是一味地增加镀层厚时收集1.0~2.0ml的溶液。度,生产的外壳抗盐雾不稳定,有些能通过盐雾试2.3镀镍表面外壳盐雾试验验,有些则不能通过。本文主要针对当前外壳抗盐镀镍外壳组成结构主要由铁镍、可伐或钢作基雾存在的问题,从镀层厚度、镀层结构、电镀工艺等材,表面镀上镍层,如图1所示。方面进行了分析和探讨。2试验2.1试验设备镀层测量设备是德国Fisher公司生产的X-Ray镀层测厚仪,型号为XDLM-C4PCB
6、。盐雾试验图1镀镍层结构示意图箱是信息产业部电子五所研制的,型号为Q-FOG。Fig.1Ageneralviewofmetalcaseplatedwithnickel收稿日期:2007-04-03;定稿日期:2007-07-25686黄代会:不同镀层结构的金属外壳盐雾试验分析2007年所选样品均要求能通过盐雾试验,共用了3个在肉眼下观察就能见到凹坑,说明材料品质不好也生产厂家的10批样品,每批样品选5只,镀层厚度是发生失效的原因之一。凹坑处,镀层离子不容易从3.6Lm到14Lm,相关参数和试验结果列于表1。进入,使镀层在此处不能均
7、匀覆盖基材留下镀层空[2]表1镀镍表面外壳盐雾试验结果洞之类的缺陷,从而导致腐蚀。另一方面,从表1Table1Resultsofsaltsprayexperimentonnickelplating还可以看出,可伐底材或铁镍底材更抗盐雾,材料中厂家镀镍层厚度/Lm基材电镀工艺试验结果所含的不同合金元素及含量对抗蚀性能有作用。从A7.31~7.54铁镍化学镀色斑腐蚀形貌观察,腐蚀表面主要是发生了孔蚀[3]。D4.30~4.90铁镍化学镀色斑D4.64~4.65铁镍化学镀色斑D3.60~3.66铁镍化学镀色斑D4.45~4.57铁镍化学
8、镀色斑D3.92~4.01铁镍化学镀色斑D9.30~11.80钢材电镀少量腐蚀点D11.70~14.00钢材电镀玻璃子旁有腐蚀H6.23~8.40钢材化学镀腐蚀较多1A5.60~6.84可伐电镀少量腐蚀点注:1.试验前表面不光洁、有凹坑。从实验结果
