编制中的《电子工厂洁净厂房设计规范》

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1、编制中的《电子工厂洁净厂房设计规范》中国电子工程设计院陈霖新《电子工厂洁净厂房设计规范》已列入国家建设部《二��五年工程建设标准定额制订修订计划第二批》�建标函�����】���号��主编单位是中国电子工程设计院。该规范的编写工作从����年开始筹备以来�经过规范编制组的积极工作和相关单位的大力支持�《电子工厂洁净厂房设计规范》征求意见稿己于����年�月底完成�发至近百个设计、科研、企业单位征求意见�并已先后在上海、苏州、深圳、成都召开了征求意见会�参会单位及专业技术人员提出了许多宝贵意见�近期还将在北京召开征求意见会。之后将由编写组认真整

2、理方方面面的意见�并在初步完成调研工作的基础上�对“征求意见稿”进行修改、补充、完善�将于����年初完成“送审稿”�����年上半年完成报批稿。�制订《电子工厂洁净厂房设计规范》的原由���电子工厂洁净厂房的特点近年来以集成电路生产、���液晶显示器生产用洁净厂房为代表的电子工厂洁净厂房发展迅速�由于集成电路生产的关键技术以每隔两年就会有一次飞跃�集成度每三年翻四倍�集成度的不断增大�其特征尺寸�线宽�日益缩小�目前特征尺寸为�������的动态随机存取存储器已投入生产�因此集成电路洁净厂房设计中�微粒控制粒径日益缩小�而且对化学污染物的控

3、制要求也十分严格�包括重金属、有机物等�见表�、表�。表��集成电路对化学污染物的控制指标年份������������������������������������—����加�����������集成度�����������������纯度��������������一��������������硅片直径�������������������—����������受控粒子尺寸�����������������������Ⅱ��粒子数��������������������栅清洗��个����重金属�������������×�������

4、������矿�������也��×����原子�����有机物������������×��������������”�×���������原子�����表��主要化学污染源化学污染污染物质化学污染污染物质室外空气���、���、��、��等油漆金属离子、甲苯、二甲苯����、�����玻�混凝土���、��璃丝滤料�人��”丙酮、��、��密封剂硅氧烷防静电材料�墙、地���、���、��、���、���、���、洁净服、化妆品有机物板、设备�����、��“、��、��软塑料、����、���工艺用溶剂���、三甲基硅醇����虽然各类

5、电子产品生产由于其生产工艺的差异�各类电子工厂洁净厂房各具特色�无论是微粒控制要求、空气洁净度等级、洁净室形式、高纯物质供应、防火防爆要求、防微振措施、防静电设施等的设置均会有所不同�但以集成电路、���液晶显示器生产为代表的电子工厂洁净厂房的特点大体可归纳为�——微粒控制十分严格、要求控制����¨�甚至更小粒径的微粒在规定的限值�空气洁净度等级要求����级或更严格。——高纯物质�包括高纯水、高纯气体�常用高纯气体��、��、��、��和特种气体如��出、����、���、���、����等数十种�、高纯化学品的供应、输送系统。——对微振

6、控制十分严格、需制定切实可行的规定——对防静电、电磁兼容等�需作符合电子产品要求的规定——大体量、多层单向流洁净室�有的��工厂洁净厂房采用二层�三层布置�每一层楼面面积达数万��。并由于空气洁净度等级、温湿度控制要求�净化空调系统与一般体量�面积不大的厂房采用不同的方式�如集中新风处理和各种形式循环风处理方法�图���是几种送风方式。磊�—、��������■‘�卜巨�同��警���薄�����甲������■�睁聊赃册口�∞一��¨���一��������������������摩���§���口黟硼嘲。。。�世型。茬缝��闩�㈡脚菩��

7、广�闩�髓图��集中送风方式净他孵嗍�臣工、目��槐组吲莛⑧虱�≮≯臃《旧�…�苦风睁压辅��、进成静压街�������¨���封”撼。蕊�斑�掣’�生‰翮��圆�����、��”��黼‘图��为隧道送风方式������轻置����袁持器����新风空捣机图��为风机过滤单元送风方式���为适应电子工厂洁净厂房的特点�现行国家标准《洁净厂房设计规范》������������作为全国通用洁净厂房设计规范难于增加、补充如高纯物质供应、输送和安全的相关规定以及防微振、防静电、生命安全等方面的具体内容�对高级别、大体量的多层单向流洁净室的相关技术措施

8、规定的补充、增加也不能实现。剐使现行的������������在执行过程中�其中某些防微振、防静电的技术措施、规定在医药工厂等类型洁净厂房实施中希望减少条文或内容。