测试技术(第五章长度和线位移的测量)

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1、测试技术(检测技术)第五章长度和线位移的测量5.1长度的测量5.2尺寸的测量5.5线位移与距离测量5.4表面粗糙度测量5.3形位误差测量25.1长度的测量35.1长度的测量45.1长度的测量55.1长度的测量65.1长度的测量75.1长度的测量85.1长度的测量95.1长度的测量105.1长度的测量115.1长度的测量125.2尺寸的测量135.2尺寸的测量145.2尺寸的测量155.2尺寸的测量165.2尺寸的测量175.2尺寸的测量185.2尺寸的测量195.2尺寸的测量205.2尺寸的测量215

2、.2尺寸的测量225.2尺寸的测量235.2尺寸的测量245.2尺寸的测量255.2尺寸的测量265.2尺寸的测量275.2尺寸的测量285.2尺寸的测量295.2尺寸的测量305.3形位误差测量315.3形位误差测量325.3形位误差测量335.3形位误差测量345.3形位误差测量355.3形位误差测量365.4表面粗糙度测量375.4表面粗糙度测量385.4表面粗糙度测量395.4表面粗糙度测量405.4表面粗糙度测量415.4表面粗糙度的非接触式测量425.5线位移与距离测量435.5线位移与距

3、离测量:透射式光栅445.5线位移与距离测量:透射式光栅栅距:光栅的栅距W=a+b,a、b分别为透光和不透光条纹的宽度,通常a=b;光栅的精度越高,栅距W就越小;一般栅距可由刻线密度算出,刻线密度为25,50,100,250条/mm。455.5线位移与距离测量:透射式光栅莫尔条纹的形成莫尔条纹的宽度可按下式计算:设a=b=W/2,则(W/2)/B=sin(θ/2),所以,B=W/(2sin(θ/2)),当θ很小时,sin(θ/2)=θ/2,故有:B=W/θ,称作莫尔条纹的宽度,又称为节距。莫尔条纹现象

4、当两块光栅互相靠近且沿刻线方向保持有一个夹角时,两块光栅的暗条与亮条重合的地方,使光线透不过去,形成一条暗带;而亮条与亮条重合的地方,部分光线得以通过,形成一条亮带。这种亮带与暗带形成的条纹称为莫尔条纹,如图所示。465.5线位移与距离测量:透射式光栅莫尔条纹的特点①平均效应:莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成,对光栅的刻线误差有平均作用。②对应关系:莫尔条纹近似与刻线垂直,当夹角θ固定后,两光栅相对左右移动一个栅距W时,莫尔条纹上下或下上移动一个节距B,因此,可以通过检测莫尔条纹的移动条数和方向来判

5、断两光栅相对位移的大小和方向。③放大作用:由公式B=W/θ可知,当W一定,而θ较小时,可使θ<<1,则B>>W。如:长光栅在一毫米内刻线为100条,θ=0.5º=0.009rad,则:B=0.01/0.009≈1mm,放大100倍。若θ=0,则不产生莫尔条纹,这时光线忽明忽暗,称作光闸效应。475.5线位移与距离测量:透射式光栅透射式光栅透射式光栅485.5线位移与距离测量:透射式光栅495.5线位移与距离测量:透射式光栅50非接触式线位移测量51非接触式线位移测量:电涡流位移传感52非接触式线位移测

6、量:反射式光栅53非接触式线位移测量:反射式光栅反射式光栅54非接触式线位移测量:激光位移传感器55距离测量56距离测量:相位差测距57ThankYou!

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