微光电实验室

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1、實驗室簡介潔淨室介紹氣體系統環安系統純水系統潔淨室的定義將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子排除，並將室內之溫度、濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音、震動、照明及靜電控制在某一需求範圍之空間，稱之。微光電實驗室溫度控制在22±1。C，濕度為55±5％。潔淨室的等級潔淨度1（class1）代表每立方英呎室內之空氣所含有大或等於0.5um之微塵粒子不超過1顆潔淨度10級則不超過10顆，依此類推。微光電實驗室分為100、1000、10000級三個區域，100級為E-beamwriter專屬區域，

2、1000級為黃光室內有cleanbench、Aligner、bonder及量測設備，10000級為鍍膜、CVD、爐管設備區域。潔淨室的設計本實驗室100級採垂直層流式設計，空氣氣流運動成一均勻之直線，經由安裝在天花板上的FFU進入室內，再由高架地板回風。1000及10000級則採亂流式設計，空氣由空調箱經風管與潔淨室天花板上的HEPA進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板回風。氣流非直線型運動而成不規則亂流或渦流狀態。註：FFU為HEPA(終端濾網)+送風機排氣風車洩漏氣回風外氣入循環風車前級濾網初級濾網

3、中級濾網冰水盤管加濕器加熱線圈排氣風車設備空調箱純水系統介紹•純水系統主要為去除水中之不純物,包括懸浮物、微粒子、有機物、維生物、電解質及氣體等,由此提高純水電阻值至極限程度,以確保水質之高純度。•無塵室使用純水的電阻值一般在18MΩ.以上,阻值越高代表水質越好,因為離子越少。純水製造流程微光電實驗室的環安系統•廢水處理•廢氣處理•氣體監測與遮斷系統•逃生路線規劃及消防系統配置實驗室安全課程消防系統平面圖環安系統微光電實驗室逃生路線及消防系統配置圖二氧化碳滅火器位置逃生路線偵溫器沖身洗眼器回風道HDP

4、EtcherLPCVDE-BeamWriterSputterE-GunPECVDFurnaceICPgasroomAirshowerE-Gun+ThermalDektakCleanbenchOMSpinnerengineroomDryScrubberOfficeEllipsometerRTAProbestationBonderAlignerUV-Ozone走廊走廊實驗室使用的氣體氣體監測與遮斷系統緊急自動遮斷氣體濃度監測氣瓶櫃中的氣體偵測器警報停止鈕氣體監控系統位於無塵室入口正前方緊急遮斷氣體濃度監測

5、警報信號燈停止供氣鈕氣體濃度監測器復歸1.依序按下Menu鍵、Enter鍵2.按下F5鍵，跳出特殊氣體外洩警報處理程序氣體偵測器偵測到某氣體外洩，超過Alarm1設定值時開始動作（警報響，警示燈亮），超過Alarm2設定值時，已斷電停止供氣。警報動作時，觀察氣體濃度監測器螢幕，該氣體是否持續有外洩讀值，若氣體持續外洩超過Alarm2設定值時，請立即按下停止送氣開關。若無氣體外洩，則按下警報停止鈕，拉起停止送氣開關（繼續供氣），解除氣體濃度監測器自動斷氣的功能。廢水處理系統混合池調勻池1調勻池2活性碳池

6、PH值偵測器鼓風機加藥機排放4F暫存槽Cleanbench稀釋後排出Wetscrubber廢水處理槽酸鹼廢氣BCl3HBrCl2SiCl4燃燒吸附水洗SiH4NH3DCSTEOSH2DryScrubberWetScrubber廢水處理槽廢氣處理系統