波前扰动对激光干涉测量精度的影响探究

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1、ePi玄本科生毕业论文(设计)题目波前扰动对激光干涉测量精度的影响探究学院制造科学与工程学院专业测控技术与仪器学生姓名李洋学号0743024017年级指导教师尹伯彪二0—一年五月二十九日波前扰动对激光干涉测量精度的影响探究专业:测控技术与仪器作者:李洋指导教师:尹伯彪要:激光干涉仪是以激光为光源的干涉仪器。由于激光的方向性好,单色性好及相干性好等特点,激光干涉仪在计量领域被广泛应用。激光干涉仪在空气中位移测量精度最高达到IX10-7,然而其测量精度直接受测量环境空气扰动等因素的影响。空气扰动类型包括空气折射率的改变、空气流动、空气质量不均匀以及空气抖动等,其中空气折射率的变化对激

2、光干涉测量的影响最为明显。因此了解空气折射率的变化特性,对提高激光干涉测量的精度有重要意义。大量实验数据表明,空气环境中的温度、压强、湿度等扰动因素是影响空气折射率的主要因素。现今学术界对空气折射率与空气温度、湿度、压强之间研究已非常成熟,有多个数学公式可以精确计算。本论文对国内外文献中已有的空气折射率计算公式进行了整理与总结,将空气折射率与空气温度、空气压强、空气相对湿度等因素之间的联系用最简洁的数学公式表达,再通过探究激光干涉测量与空气折射率的影响关系,确定空气扰动因素对干涉测量结果的实际影响。关键词:激光干涉测量空气扰动空气折射率测量精度Wavefrontperturbat

3、ionsontheaccuracyoflaserinterferometrytoexploreMajor:Technology&InstrumentforMeasureing&ControlAuthor:LiYangSupervisor:YinBobiaoAbstract:Laserinterferometerasthelightsourceisalaserinterferenceequipment,laserinterferometeriswidelyusedinthemeasurementfieldwiththegooddirection,thegoodcolorandthe

4、goodcharacteristicsofthelascr.Lascrinterferometerdisplacementmeasurementaccuracyintheairupto10"7,butitsaccuracydirectlyaffectedbythemeasurementofenvironmentalfactorssuchasairturbulence.Airturbulencetypesincludechangesinrefractiveindexofair,airflow,airqualityandairjitter.Changesinairrefractive

5、indexofthelaserinterferometrymostobvious.Therefore,understandingthecharacteristicsoftheairrefractiveindexchange,toimprovetheaccuracyoflaserinterferometryisimportant.Experimentaldataindicatethattheairenvironmentoftemperature,pressure,humidityandotherdisturbingfactorsarethemainfactorsaffectther

6、efractiveindexofair.Academicsontherefractiveindexofairandairtemperature,humidity,pressurebetweenthestudyhasbeenverymature,thereareseveralmathematicalfonnulascanbeaccuratelycalculated.Inthisthesis,theexistingliteratureonthedomesticandinternationalairrefractiveindcxfomiulawereconsolidatedandsum

7、mary,whichwillairrefractiveindexandairtemperature,airpressure,relativehumidityoftheairlinkbetweensuchfactorsasthemostconciseexpressionofmathematicalformulas,thenLaserinterferometrybyexploringtheimpactofrelationswiththerefractiveindexofair,the

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