MEMS器件设计与原理.pdf

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1、CourseNo.04813190MEMS器件与设计MEMSDevices&Design教室：二教5082009年2月24日时间：每周二5:30-8:30pmFeb17-June1th,2009教师张海霞，教授62752536-17，Cell:13701113366Email：zhanghx@ime.pku.edu.cn杨振川，副教授62752536-18Email:Z.yang@ime.pku.edu.cnOffice:IME,PKU,2ndfloorOfficehour,9am-8pmeveryday北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17

2、课程简介本课程的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时，培训目前MEMS研究中常用的软件工具，让学生掌握最先进的辅助研究工具，提高设计效率和质量。北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17课程安排2月17日CourseOverviewLecuture1:IntroductiontoMEMS，Instructor：ZHANGHaixia

3、2月24日Lecture2:SmallisDifferent:MEMSDesignandFabrication，Instructor：ZhangHaixia3月03日Lecture3:IntroductiontoMechanicsofMaterials，Instructor：YANGZhenchuan3月10日Lecture4:SensingandActuationofMEMS，Instructor：YANGZhenchuan3月17日Lecture5:ProcessDesignTechnology，Instructor：YANGZhenchuan3月24日Lecture6:P

4、rocessEffectonstructuredesign&Layoutdesign,Instructor：YANGZhenchuan3月31日Lecture7:SoftwareTraining:ANSYS(1)，Instructor：YANGZhenchuan4月07日Lecture8:SoftwareTraining:ANSYS(2)，Instructor：YANGZhenchuan4月14日Lecture9:SoftwareTraining:ANSYS(3)，Instructor：YANGZhenchuan4月21日Lecture10:MEMSSystemDesign，I

5、nstructor：YANGZhenchuan4月28日Lecture11:MEMSInertialSensors，Instructor：YANGZhenchuan5月05日Lecture12:MEMSDevicedesign1:Accelerometer，Instructor：YANGZhenchuan5月12日Lecture13:MEMSDevicedesign2:SiCPressureSensor，Instructor：ZHANGHaixia5月19日Lecture14:MEMSDevicedesign3:Bio-MEMS，Instructor：ZhangHaixia5月

6、26日Lecture15:Future:NEMS，Instructor：ZhangHaixia6月01日Lecture16:FinalProject北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17课程评分标准FirstProjectFinalProject20%50%Homework30%北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17北京大学信息学院微电子学研究院张海霞AliceZhangzhanghx@ime.pku.edu.cn62752536-17提提纲纲一、MEMS的定义与特点二、MEMS的发展历程三、北大的MEMS

7、研究四、作业北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17一、MEMS微机电系统Micro-Eelectro-MechanicalSystems，简称MEMS，是在微电子技术基础上发展并拓宽起来的微小型化革命，它是集物理、化学和生物的敏感器（执行信息获取功能）、执行器与信息处理和存储为一体的微型集成系统，泛指采用大批量微机械加工方法制造的微小型集成器件和系统。北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计（第一讲）张海霞2009-2-17大脑－信息处理(集成电路)腿脚－