典型mems器件结构优化设计平台

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1、第30卷第3期轻工机械Vol．30No．32012年6月LightIndustryMachineryJun．2012［新设备·新材料·新方法］DOI:10．3969/j．issn．1005-2895．2012．03．024典型MEMS器件结构优化设计平台1*2善盈盈，卢德林(1．浙江机电职业技术学院机械工程系，浙江杭州310053;2．浙江省机械工业情报研究所，浙江杭州310014)摘要:设计一种适用于典型MEMS器件结构优化设计的通用平台系统MEMSPlatform(简称MP)。该平台采用了柔

2、性模块的设计理念，将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输出等5个独立功能单元，解决了典型MEMS器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等问题，具有较好的实际应用及再开发价值。图4表2参16关键词:MEMS器件;柔性模块;设计平台;结构优化中图分类号:TP212文献标志码:A文章编号:1005-2895(2012)03-0088-05MEMS-PlatformforStructuralDesignandOptimizat

3、ionofMEMSFacilities12SHANYing-ying，LUDe-lin(1．DepartmentofMechanicalEngineering，ZhejiangInstituteofMechanicalandElectricalEngineering，Hangzhou310051，China;2．ZhejiangMachineryIndustryImformationInstitute，Hangzhou，Zhejiang，310014)Abstract:Thepaperprese

4、ntedakindofgeneralplatformsystemsuitablefortypicalMEMSdevicestructureoptimumdesignMEMSplatform(MPforshot)．Thisplatformadopteddesignconceptionofflexiblemoduleanddecomposedwholeoptimumdesignintofiveindependentfunctionalunits-parametrizationmodule，funct

5、ionsimulation，optimalpre-aftertreatment，optimalalgorithmoptionanddesign，outletofoptimalresultsetc．，thussolvedthecommonproblemsoccurredintypicalMEMSdevicestructuredesign，suchasrealfunctiondistortion，toocomplicatedinoptimalcalculation，masscalculationse

6、tc．．TheMPposseswithbetterpracticalapplicationandredevelopmentvalue．［Ch，4fig．2tab．16ref．］Keywords:MEMSdevice;flexiblemodule;platform;structuraloptimizations0引言优化设计过程极其复杂、计算量大且操作繁琐。［1-5］微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，设计了一种适用于典型MEMS器件的结构优化简称MEMS)是

7、指通过采用微机械加工技术和微电子技设计平台MEMSPlatform(简称MP)。该软件平台采术相结合的工艺，批量制作而成的集微型机构、微型传用模块化的搭建方式，以计算机辅助设计软件为依托，感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至通接从MEMS微器件的特殊性出发，通过对模型建模方口、通信和电源设备为一体的微型器件或微型系统。目式、设计目标等关键技术的改进、完善，以期解决前，在MEMS器件的实际生产应用中存在的问题有以下MEMS器件设计中存在的问题，为MEMS的设计应用2点:①由于MEMS系统结

8、构极其微小，常为微米或是提供实践基础。纳米级，按照传统最优化设计方法进行加工，所得器件1适用于典型MEMS器件的结构优化设计方法的实际性能常会出现失真，极端时甚至造成器件的失由于MEMS器件的尺寸极其微小，一般为微米或［6-8］效。②基于辅助计算机设计系统的MEMS器件结构者纳米级，其在工作过程中常会受到一些特殊因素的收稿日期:2012-04-18;修回日期:2012-05-04作者简介:善盈盈(1984)，女，浙江衢州人，硕士，助教，主要从事计算机图形学与图像处理、计算机集成制造与企业信息化、