降低Low-E玻璃钢化前后可见光透过率变化量的方法.pdf

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1、Architectural&FunctionalGlass№122016降低Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量的方法金堆城洛阳节能玻璃有限公司郭明O引言＼目前，国内使用最广泛的单银可钢化Low—E玻璃＼生产工艺，是在玻璃表面依次沉积氮化硅、镍铬、银、一镍铬、氮化硅，该工艺生产出的产品，颜色丰富，耐磨’K"-x^v_鲁懈蝌、1i、擦性能好，钢化前后色差和可见光透过率变化小。本＼iO50文将讨论在该生产工艺下，为了生产高质量可钢化、XLow—E玻璃，在使用不同的硅铝靶溅射功率时，如何3040506070功率(Kw)选择最合

2、适的工艺气体流量和氩／氮气比例，使玻璃图1氩，氮气比例为60：40时Low—E玻璃钢化前后钢化前后可见光透过率的变化最小。可见光透过率变化量随溅射功率变化曲线图1实验条件生产工艺为在玻璃表面依次沉积氮化硅、镍从图1中可以看出，硅铝靶溅射功率越高，铬、银、镍铬、氮化硅，底层氮化硅使用两个旋转Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量总体趋势阴极，顶层氮化硅使用3个旋转阴极，采用中频溅在下降。在相同的溅射功率下，工艺气体流量越低，射电源；镍铬和银均为4kW，采用平面阴极，直流Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量越小，但是溅射电

3、源。玻璃传输速度为4m／rain，本底真空为40kW在480：320曲线和50kW在600：400曲线中有翘1．2×10～2．4×10Pa。尾现象，这是由于此处氩气流量过高，靶材溅射出的2改变溅射功率和工艺气体流量Low—E玻璃钢化硅原子数量过多，而氮气流量过小，没有足够的氮原前后可见光透过率变化量子与硅原子结合形成氮化硅，致使一部分纯硅原子掺本实验采用最常用的单银可钢化Low—E玻璃生杂沉积在氮化硅膜层中间，造成钢化前后可见光透过产工艺，每次只调节前、后硅铝靶的溅射功率和工艺率变化量变大。气体流量、比例。2．2工艺气体氩，

4、氮气比例为50：502．1工艺气体氩／氮气比例为60：40表2氩，氮气比例为50：50时Low—E玻璃钢化前后表1氩，氮气比例为60：40时Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量，％可见光透过率变化量，％400：400500：500600：600700：700800：800480：320600：400720：480840：560960：640(mI，min)(mI，min)(mI，min)(mI，min)(mI，min)(mI，min)(mI／min)(ml，min)(mI，min)(mI，min)30(kW)1．42．2

5、3．24．03．93O(kW)2．12．52．82．93．340(kW)1．21．82．23．74．140(kW)3．02-32．42．53．050(kW)1．01．11．63I33．650(kW)2．52．42_32．66OfkW)1．21．22．23．O60(kW)2-21．92_370(kW)0．91．72-370(kW)1．21．9从表1中可以看出，当工艺气体流量较小时，硅从表2中可以看出，当工艺气体流量较小时，硅铝靶溅射功率无法升到较高的数值。铝靶溅射功率无法升到较高的数值。一8一^v_軎褂捌煅；^v_軎4制3斟捌

6、i；illOOO00O00ii5；建筑玻璃与工业玻璃2016，No12率越高，说明氮气流量足够高时，硅铝靶才能稳定地一*～_＼工作在高功率下。氮气流量较高时，Low—E玻璃钢化▲、＼＼一＼前后可见光透过率变化量增大。‘＼＼＼‰、＼1＼＼＼’对比表l、2、3我们还可以看出，氩／氮气比例为、×＼^—～、＼＼．：J40：60时，Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量在各种流量下，普遍偏大，生产过程中不应采用。对比图1、2、3我们可以看出，图1曲线相互交叉405O60功率(Kw)现象明显比图2、图3要多很多，没有规律可循，但变图2

7、氩，氮气比例为50：50时Low—E玻璃钢化前后化量的幅度最小。可见光透过率变化量随溅射功率变化曲线图2．4工艺气体流量为800ml／min时Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量从图2中可以看出，硅铝靶溅射功率越高，表4流量为800ml／min时Low—E玻璃钢化前后Low—E玻璃钢化前后可见光透过率变化量越小。可见光透过率变化量／o／02．3工艺气体氩／氮气比例为40：60480：320400：400320：480表3氩／氮气比例为40：60时Low—E玻璃钢化前后(ml／min)(mI，min)^(mvI，_軎min

8、)斛捌蝌3iiO可见光透过率变化量，％i05O503O(kW)2．11．43．1320：480400：600480：720560：840640：96040(kW)3．O1．22．4(ml，min)(mI，min)(mI，min)(ml，mjn)(mI，min)5O(kW)1．01．93O(