多刀切割技术在石英玻璃片生产中的应用.pdf

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1、建筑玻璃与工业玻璃多刀切割技术在石英玻璃片生产中的应用Applicationofmultiple-cutinproductionofquartzglassplate孔敏花宁（中国建筑材料科学研究总院，北京100024）摘要：本文探讨了多刀切割技术在石英玻璃片大规模生产中遇到的重要问题，并提出解决方案，建立了石英玻璃的多刀切割工艺。关键词：多刀切割；石英玻璃片；光掩模板Abstract：ThisarticleexploredtheproblemandsolutioninMultiple-cutinproductionofquartzglassplate,andestablishedtech

2、nologicalprocessesofMultiple-cutofquartzglassplate.Keywords：multiple-cut；quartzglassplate；PhotoMask中图分类号：TQ171.731文献标识码：B文章编号：1003-8965(2014)02-0029-021前言术，在多刀切割机如何经济高效地切割石英玻璃的探索过程中，我们遇到了以下重要问题：在科学技术日益发达的今天，向科技要效益，以创新求发展，已经成为时代的主流。石英玻璃行业的不断前进也印证了这一点。在信息时代，半导体产业的发展如火[1]如荼，带动了石英玻璃生产技术的创新和进步。半导体行业用光

3、掩膜基片的大量需求成为了北京金格兰石英玻璃有限公司基片规模化生产的催化剂。在光掩膜基片需求之初，我公司只能为国内各厂家提供少量样品。生产工艺简单，只是利用石英原坨进行机图1多刀切割机床单片切割。随着需求量大增，原有的生产设备及工艺由3.1刀条断裂于其自身严重弊端既不能满足市场需求，又造成极大浪费。在切割的过程中，刀条不可避免地要发生一些磨损。在这种状况下，寻求新的生产设备及加工工艺以实现规模但我们在多次切割试验中发现同批次刀条在切割不同尺寸化生产势在必行。石英玻璃过程中的断裂情况与被切石英玻璃大小尺寸无鉴于此，公司将多刀切割技术引入到石英玻璃光掩关，那么如果被切石英物体在切割机所允许的最

4、大切割范[2]膜基片的生产之中，引进石英玻璃多刀切割机。围内，刀条断裂只能说明整个切割工艺存在严重问题。3.2玻璃片厚度不均2多刀切割机工作原理在切割结果的检测中，发现石英玻璃片单片上、下厚度不同，同规格不同片之间平行与粘料板的相同位置处多刀切割机是许多钢制刀条固定在刀台上，并用扭厚度不同，这些均对后序的加工过程带来不利影响，也与力扳手给刀条施加一定的张紧力。通过曲柄连杆机构带动此机器所能达到的切割精度（平行度0.03―0.05mm）相刀条做往复运动。利用配重使被切工件产生对刀条施加持去甚远。下面给出同一个石英玻璃坨切割出的要求相同规续合适的压力，同时自上而下喷入磨料与油的混合液，刀格石

5、英玻璃片的一组具体的厚度检测数据（mm）。条即可将磨料带入切口内，工件即慢慢被切开，一次可切3.3表面出现沟槽许多片玻璃，而且切口比较平坦，切割精度也较高，所以切割过程中刀条倾斜所致，沟槽最大深度有时可达较受石英玻璃厂家青睐。其所用刀条是优质弹簧钢制成，1.5mm，给加工造成很大困难，甚至无法加工所需成品。[3]一次性使用。原理如图1。3.4被切石英玻璃与粘料板分离粘接不牢固致使切割失败，对原材料造成极大浪费。3多刀切割工艺的确立3.5多刀切割工艺在着手解决上述问题的过程中发现，多刀切割技术对石英玻璃片的生产来说，多刀切割是一种新的技是一个完整的系统，所有问题的解决都要求整个系统的完国家

6、科技支撑计划项目：信息产业用高纯石英玻璃及制品的绿色制造关键技术与示范项目编号：2013BAE03B01-02国家国际科技合作项目：深紫外光学石英玻璃材料的研制项目编号：2012DFA5131029建筑玻璃与工业玻璃表1石英玻璃片厚度(mm)编号12345678910位置上3.853.803.903.763.633.713.833.913.853.87下4.124.114.174.214.024.114.184.074.204.27善，任何一个环节操作失误或者不规范都会出现以上问题。取得了满意的效果。所以我们综合粘接、排刀、上刀、切割整个过程，形成以下主要工艺。4多刀切割工艺确定的意义1

7、）石英玻璃的外形处理和粘接待切石英玻璃的大小不一、形状不同，所以不同的石英玻璃坨经多刀切割后能够满足后序加工的需求，石英坨的粘接方式也不同，但总原则为：方便切割、粘接经确定的工艺加工后可以为下道工序节省大量的人力物牢固。待切石英玻璃坨要处理出平行的上、下两个面，为力。通过数据研究，可以帮助我们找寻出多刀切割的刀条了粘接更加牢固和方便将石英玻璃切透，采用在下平面与受力分布状况，达到调节的目的。总之，多刀切割工艺的粘料板间加入一层5――