钕铁硼材料表面磁控溅射制备SiC薄膜的防护研究.pdf

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1、Ｗ３５９ＴＢ４３单位代码：分类号：２０１２Ｈ０３４２公开学号；密级；冬也义令乂义ＨｅｆｅｉＵ打ｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙ＊＇＇；Ｉ硕：ｔ学位论义Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ—．‘点敍铁棚材料表面磁控漉射制备ＳｉＣ薄膜的防巧研究论文题肖；学子／历刀硕乂工±学位类别；学科专业：材料学工程领域（）作者姓名：导师姓名；李合琴教授？２（Ｈ５年４月？完成时间：＇＂賴Ｉ：主．－－：？：＝為砰六。柄若站．．矿‘１换初今今

2、如；與Ｓｉ紙的托捉５芯乃Ｊ最１０３５９密级单位代码：：学号：２０１２１１０３４２分类号：ＴＢ４３苗＾化Ａ令义考ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ硕：ｔ学位论文ＭＡＳＴＥｉｒＳＢ巧ＥＲＴＡＴＩＯＮＳ论文题目：钦铁测材料表面磁控漉射制备ＳｉＣ薄膜的防护研究学位类别：学历硕壬专业名務：材料学：陶磊作者姓名导师姓名：李合琴教授５年４月完成时间：２０１Ｉ合肥工业大学学历硕±学位论文钦铁棚材料表面磁控瓣射制备ＳｉＣ薄膜

3、的防护研究Ｉ作者姓名ｍ＿Ｍ指导教师：李合琴教授专业名称：材料学研究方向：材料表面工程２０１５年４月ＡＯｉｓｓｅｒｔａｔｉｏ打Ｓｕｂｍｉｔｅｄｆｏｒ化ｅＤｅｇｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒＳｕｒｆａｃｅＰｒｏｆ：ｅｃｔｉｏｎｏｆＮｄＦｅＢＭａｔｅｒｉａｌＣｏａｔｅｄｗｉｔｈＳｉＣＴｈｉｎＦｉｌｍｓｂＭａｎｅｔｒｏｎＳｕｔｔｅｒｉｎｙｇｐｇＢｙＴａｏＬｅｉＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨｅ反ｉＡｎｈｕｉＲＲ．Ｃｈ

4、ｉｎａ，，Ａｐｒｉｌ，２０１５合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学学历硕±学位论文质量要求。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席，研究员：中国科学院固体物理研究所委员：《名肥工业大学，教授Ｊ＾合肥工业大学，教授仪弯导师；合肥工业大学，教授学位论文独劍性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业乂学

5、或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和。集体，本人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合服工业大学无关＇＾（吟月己〇日期：１日学位论文作者签名：签名重年学位论义版权使用授披书太学仿论义化者完令了解合肥工业大学有关保留、使用学位论文的规定，目Ｐ：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部ｎ或机。构送交论文的复印件和电子光盎，允许论文被查阅或借阅本人授权合肥工业大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，允许采用影

6、印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）：学位论文作者签名；指导獅签名参２＾＾〇签名日期巧签名日期：。年月２日：如皆年月心论文作者毕业去向工作单位：Ｅ－ａｍｉｌ；联系电话：：通讯地址：邮政编码致谢。本论文是在导麻李合琴教授的指导下完成的李老师知识渊博，治。学严谨和待人真诚，她教会了我很多做人的方式李老师长期从事材料ｉ表面处理研究，Ｈ年的时间里我从李老师那里学到了很多关于ＰＶＤ＋ＣＶＤ的知识，而且对此产主浓厚的兴趣。李老师教会我如何查阅文献

7、，如何ｆ合理的制定实验方案Ｗ及如何撰写中英文论文。再次，向我的导师李合、。琴教授说声谢谢，感谢您Ｈ年来对我的关屯和指导在测试实验过程中，还得到了汪冬梅老师，郑玉春老师大量的帮助和指导！，让我学会了很多，在此向他们表示诚孽的谢意感谢合肥工业大学分析测试中也的各位老师在试样测试实验过程中对我的帮助和指导。一在材料楼１０６实验室的Ｈ年里：，我很感谢本课题组中每位同学，，同窗王伟、乔惜，周ｉ，师兄张学科、颜統雷师姐张静唐琼，师弟左敏、师妹黄依琴Ｗ及所有帮助过我的朋友们在平时的学习和生活中给一一天予的帮助。和

8、他们在起的每，我都非常开也，而且还学会了很多知识。同时，还得感谢＾徽大地熊新材料股份有限公司，感谢贵公司对我的支持，部分测试均在公司完成。特别感谢沈炯学姐在实验方面对我的ｉ帮助