扩散方阻异常.doc

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1、扩散异常原因排查方阻异常处理方法：如果方块电阻不在规定范围内，轻微超出范围要求重新扩散，严重超出要求重新制绒，方阻偏低或，色斑，偏磷酸等由硅片表面问题引起的玷污需去PSG后从新制绒。导致方阻异常的可能原因：气体流量不稳定（大氮，小氮，氧气等），温度偏高或偏低，源瓶内三氯氧磷不足，恒温槽温度偏高，管内压力不稳定，石英管或石英舟饱和不够，炉门没关紧，管口抽风太大或太小。我们现在是串级控温，所以不需要拉炉管恒温。检查方法：确保设备没有问题后再进行工艺调整。检查内容：确认是否用错工艺，工艺过程是否完整进行后，检查工艺气体流量，温度及其

2、升温过程，管内压力，源剩余量，恒温槽温度。几种异常表现及工艺调整方法：1.如果扩散不到，增大N2的携带流量；2.方块电阻偏高，加大源量，延长扩散时间，通入足够量的小N2和O2，一般偏差几个欧姆通过温度调整。4.方块电阻偏低，减少扩散温度，减少扩散时间。5.扩散后单片上电阻不均匀，调整扩散气流量。注意事项：平时要保证传递窗的及时关闭，石英舟需要定期清洗，清洗后的石英舟需作饱和工艺，炉门要及时关闭，不允许裸手接触石英舟和硅片，避免炉管和石英舟被污染，保证扩散间的工艺卫生。以上所述是基于四探针测试方阻没有问题，片源没有出现异常的情况

3、下，也许不完全正确，仅供作为实践时的参考。