扩散异常分析.doc

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1、扩散异常分析方案1、方阻异常偏大a、炉管维护后若试片方阻较大，查看历史记录是否大饱和，饱和时P源瓶阀门是否打开，若异常，则再次运行大饱和程序；若正常，则查看拉温是否拉好，若未拉好，让设备再次拉温；若正常，则查看温度流量曲线是否正常，若均正常，则可以增加扩散温度后继续试片。b、正常生产后，若该批方阻整体异常偏大，查看P源液位是否低于警戒液位，请直接更换。如果磷源没有问题，查看程序有无运行错误；查看注入管处连接器是否脱落；查看温度曲线、气体流量曲线、恒温箱温度和恒温箱水位是否异常。在更换磷源后发现生产的硅片方块电阻偏大，可先检查是否为磷源瓶进出气阀未打开，进出气口是否被堵，石英瓶身与阀套接

2、口处是否有密封不严现象。c、若炉口方阻异常偏大，可能为炉门密封不严所致，请设备调节炉门密封即可。d、若整炉异常偏大，可能加热器因设备报警(如断偶、超温等)而关闭，请设备维修后开启加热开关即可。2、方阻整体异常偏小a、查看恒温箱温度是否过高，恒温箱水位是否过低所致，根据以上问题做出相应调整；b、查看程序是否运行错误；c、可能出现由于生产人员的误操作导致的异常，DF1炉由于出炉装置经常被切换为手动模式，硅片在工艺结束后放置在炉内过长时间也有可能导致电阻偏低；d、询问硅片是否为二次扩散片；e、观察温度曲线，是否为温度波动；观察流量曲线，是否为工艺气体流量出现波动或者流量曲线异常；3、方阻极差

3、异常偏大a、若炉口极差异常偏大，可能炉门密封不严所致(r如密封圈碳化，石英炉门以及炉管错位等)；若正常，则检查尾气管是否堵塞，疏通尾气管；查看炉口均流板是否缺损或所放置位置不佳，更换均流板或调节位置；b、若炉尾极差异常偏大，查看尾气管是否堵塞；查看炉尾均流板是否缺损，若缺损则更换均流板；查看桨是否对中，若未对中则调节桨的对中；查看排风管是否掉落；查看注入管是否水平；查看拉温是否拉好；查看气路的密封性，根据以上问题可请设备做出相应调整。c、若中心点异常偏大，可能为磷沉积到中间点的量不足，可以通过适当提高磷源量或者降低氧气流量进行调整。4、扩散后外观异常a、生产人员带水插片时，会导致有水

4、的情况下硅片氧化过快、氧化层较厚，氧化层过厚导致方块电阻偏大，硅片颜色会偏蓝偏黑，应挑出按返工流程返工。b、在生产过程中，如果由于停电等原因造成在通氧、大氮的情况下硅片在炉中过长时间，造成方块电阻偏大，一般这样的硅片颜色较黑。c、在生产过程中硅片会出现滴落状的白色或油状物质，此现象一般为偏磷酸滴落。这时要对扩散炉炉口处的积酸盒进行清理。5、同一时间每炉的的片子都出现偏大或者偏小现象，查看扩散间的测试温度是否有异常，在一定测试温度范围内，测试温度与方阻成正相关关系；查看P源间的温度是否偏低或偏高，若异常，打电话给外围；可能为测试仪器出现不准或故障，请相关人员校准或维修；查看外围的供气压力

5、是否正常，6、少子寿命偏低a、排查是否为污染，观察纯水电阻率，如果过低应为纯水污染。b、排查炉管，如果为某一个炉管的硅片少子寿命持续偏低，应为该炉管污染，应立即对其清洗。c、若几个炉管同时出现，然后突然正常，可能为片源本身存在问题。注：对于发现温度曲线有异常的炉管，要进一步确定是否为硬件问题，如果为热偶松动等硬件问题，应当请设备人员对设备进行维修后重新将温度拉到合理范围内。