内层冲影蚀板工艺教材.ppt

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1、冲影&蚀板工艺技术TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG1冲影的作用将未曝光之干膜或油墨冲去,已曝光的部分则被保留下来,初步形成内层线路.TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG2冲影原理干膜(油墨)中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，冲影时活性基团羧基-COOH与无水碳酸钾(或碳酸钠)中的K+作用，生成亲水性集团-COOK。从而把未曝光的部分溶解下来，曝光部分

2、的干膜因为有一定的抗碱性不被溶解。-COOH+K+-COOKTECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG3显影时间的控制显影时间通过显影点来控制。显影点是指没有曝光的干膜从印制板上被冲掉之点。显影点必须保持在冲影段总长度的一个恒定百分比上，公司内层冲影(干膜)显影点控制在60-65%。如果显影点离显影段出口太近，未聚合的干膜得不到充分的显影，造成显影不清，部分干膜碎可能残留在板面上。如果显影点离显影段入口太近，造成显影过度。TECHNICALTRAININGMATER

3、IALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG4冲影流程冲影水洗烘干TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG5冲影药液成分弱碱性溶液，K2CO3或Na2CO3作用进行显影反应，将未经发生光聚合反应的干膜显影掉TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG6水洗药液成分自来水作用将显影后产生的膜碎及板面上的残留液洗去。TECHNICALTRAININGMATERIALFO

4、RINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG7烘干方法用热风吹作用将残留在板面上的水分吹干。TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG8蚀刻质量指标侧蚀(under-cut)：发生在抗蚀层图形下面导线侧壁的蚀刻(用X表示)，侧蚀量的大小是指最大侧向蚀刻宽度，其值愈小愈佳。侧蚀与蚀刻液类型、组成及所用的蚀刻工艺及设备有关侧蚀(under-cut)：发生在抗蚀层图形下面导线侧壁的蚀刻(用X表示)，侧蚀量的大小是指最大侧向蚀刻宽度，其值愈小愈佳。侧蚀与蚀

5、刻液类型、组成及所用的蚀刻工艺及设备有关菲林上导线宽度X抗蚀层侧蚀基板TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG9蚀刻质量指标蚀刻系数(etchfactor)：以T/X表示(T为线路铜层厚度)此数据与蚀刻液的特性、蚀刻方法、温度有关。蚀刻系数越大，侧蚀越小。过蚀(overetch):指蚀刻过度，使导线变细或严重的侧蚀菲林上导线宽度X抗蚀层W(过蚀)T(铜层厚度)基板TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBY

6、YFZHANG10蚀刻液的选择蚀刻液需具备的主要条件蚀刻系数大、侧蚀小溶铜量大、溶液寿命长反应平稳TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG11蚀刻液的种类主要有三氯化铁蚀刻液铬酸、过硫酸铵蚀刻液(过硫酸铵易自行分解反应，溶液寿命短，且反应剧烈发热所以采用的较少)，此种蚀刻液适合锡铅合金、锡镀层。氨碱性氯化铜蚀刻液(本公司采用)双氧水-硫酸系列以及后来发展起来的硝酸系列酸性氯化铜蚀刻液TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPRO

7、CESSEDITBYYFZHANG12酸性氯化铜蚀刻液特性蚀刻速率易控制，蚀刻液在稳定的状态下，能达高的蚀刻质量蚀刻液易回收，减少污染化学组成TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYYFZHANG13酸性氯化铜蚀刻原理在蚀刻过程中，氯化铜中的二价铜具有氧化性，将电路板铜面上的铜氧化成一价铜,其化学反应如下：Cu+CuCL2Cu2CL2Cu2CL2+4CL-2[CuCL3]2-TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNERLAYERPROCESSEDITBYY

8、FZHANG14碱性氯化铜蚀刻液特性蚀刻速率快，侧蚀小，溶铜能力强，蚀刻速率易于控制蚀刻液可连续再生循环使用，成本低。化学组分TECHNICALTRAININGMATERIALFORINNER