镀膜机气体分析.ppt

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1、RGA原理及应用英福康公司什么是RGA？*ResidualGasAnalyzer*残余气体分析器*一种用来确定残余气体成分和数量的仪器什么是RGA？RGA工作原理RGA=四极质谱仪:*离子源-传感器中生成电子并进行电离从而产生离子的部件*四极杆-传感器中按质荷比来分离离子的部分*法拉第杯FC-捕集离子*电子倍增器EM-放大由传感器产生的信号RGA工作原理*产生一束离子流*根据质荷比离析混合的离子流*提供反映相应离子数量的输出电流RGA工作原理RGA构成接口单元控制单元传感器工作压强须小于10-4torr(高压强型:10-

2、2torr)RF,前置放大和传感器电压模拟放大数字放大计算机RGA传感器离子源IonSource四极滤质器QuadrupoleMassFilter检测器Detector离子源加速极灯丝聚焦电子反射极阳极聚焦底座/四极杆入口RGA检测器/法拉第杯(FC)和电子倍增器(EM)高电压前置放大器法拉第杯电子倍增器电子倍增器前置放大器RGA应用RGA真空室工艺气体离子源四极滤质器检测器工艺气体计算机RGA应用(主要用途)*检漏*真空设备本底状况鉴定*在线工艺气体监测分析RGA应用(主要用途)*检漏-真空系统泄漏(内漏,外漏)-可设

3、置报警点,实现报警功能-与氦质谱检漏仪的区别:RGA氦质谱检漏仪示漏气体氦气或其他任何示漏气体氦气可检漏类型内漏,外漏外漏显示TWare32软件检漏模式/监控模式(离子流/分压强)显示面板(漏率)RGA应用(主要用途)*真空系统本底状态鉴定在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值*真空系统污染监测和控制清洗介质残留,返油(碳氢化合物),表面放气(空气,H2O,O2,CO,CO2)通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.RGA应用(主要用途)*真空工艺监控-在线监控:实时反映工艺异常或偏差-数据按时间自动存储(SOD文

4、件)以便日后追溯进行工艺分析-继电器输出可用于控制阀门-模拟输出可连线PLC*镀膜工艺研究开发各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响控制软件-TWare32RGA应用实例1–正常真空系统本底谱图RGA应用实例2–酒精和丙酮残余RGA应用实例3–真空系统泄漏RGA应用实例4–某客户新镀膜机调试*抽气一小时真空不能达标,怀疑有漏,用氦质谱检漏,无结果.*用RGA探测发现:水汽分量高,系统无外漏.真空差是由于系统放气所致.*建议继续抽气并烘烤.*抽气八小时后,真空达标,水汽亦下降.但发现有油蒸汽污染.RGA应用系统抽气一小时

5、水蒸汽谱峰系统总压强2.0X10-5Torr三种单位可选各种气体分量趋势图质谱图任意选择多种被测气体0~100AMU全量程扫描(在0~100之间可选任意范围)RGA应用系统抽气八小时水蒸汽谱峰系统总压强5.86X10-6Torr三种单位可选各种气体分量趋势图质谱图任意选择多种被测气体当前运行的工艺菜单水蒸汽分压强下降至7.2X10-10Torr重的碳氢化合物污染RGA的选用-为您的镀膜机选择合适的RGA*最小可检分压强(MDPP)法拉第杯(FC):3x10-13Torr电子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~1

6、0-15Torr*质量数(AMU)取决于需要探测的气体100AMU传感器探测范围:1-100AMU200AMU传感器探测范围:1-200AMU300AMU传感器探测范围:1-300AMU绝大多数工业应用仅需100AMU传感器RGA的选用-为您的镀膜机选择合适的RGA*工作压强范围-标准RGA:<5x10-4Torr-高压强型XPR3:<1x10-2Torr-若需在更高压强下工作,须使用取样系统(IPC400)C100FC100MHX00FHX00MXPR3IPC400Torr1.00E-151.00E-141.00E-1

7、31.00E-121.00E-111.00E-101.00E-091.00E-081.00E-071.00E-061.00E-051.00E-041.00E-031.00E-021.00E-011.00E+001.00E+011.00E+021.00E+03RGA应用讨论