多晶硅生产中公用工程发生供应故障的处理措施.pdf

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1、总第177期doi：10．3969／j．issn．1005—2798．2014．05．012多晶硅生产中公用工程发生供应故障的处理措施任志伟(潞安集团高纯硅业有限公司，山西长治046100)摘要：多晶硅生产过程中的公用工程涉及较多的车间，大体包括原料、电、水和汽等供应车间，各个公用工程的正常运行与材料供应，才能够保证多晶硅产品的稳定生产。基于此，对多晶硅生产中公用工程发生供应故障的处理措施进行了探讨。关键词：多晶硅；生产；公用工程；供应故障中图分类号：TQ127．2文献标识码：B文章编号：1005—2798(2014)05—0029—01在多晶硅的生

2、产过程中，需要各个车间或工程事故，降低了氢气供应量。进行不断供应，是一个从一开始的原料供应到最后2)氮气在供应时发生事故．原因来自于制氮形成多晶硅产品的连续流程，每一个环节出现问题系统发生故障或是运送管道发生泄露现象。都会影响产品的生产。多晶硅生产的公用工程包括3)企业配电装置发生故障，发生线路故障导较多．涉及原料、电、水和汽等供应车间，对整个公用致局部跳闸或厂区内电路全停。工程的供应进行总调度，研讨各个工程易发生供应4)整个生产车间的循环水发生供应不足的故障的原因与快速处理措施，能够有效保证企业多现象．可能是由于管道出现裂隙发生泄露或是停电晶硅生产

3、的Jlb~．N进行。等其他原因导致供输设备停止输送。5)冷冻盐水发生供应不足，可能是机泵发生1实例概况故障或机组产生问题。某公司运用第三代改良西门子法进行多晶硅的6)车间蒸汽供应故障，可能为供汽管道出现生产．该方法是通过氢气、氯气合成的氯化氢与硅粉问题或是供汽炉出问题，也可能是减压阀控制出现进行高温反应，生成合成物三氯氢硅后，再进行多级故障。提纯与精馏。最终通过含氢的还原炉进行还原沉淀产生多晶硅。尾气采用干法回收，在180—258K的温度下．对尾气进行加压并实施多级冷凝分离，能够分离得到HC1、H，、SiC1以及SiHC1，其中，四种气体在尾气中的摩

4、尔分数占有估计值为0．09、0．87、0．03和0．02，在这个过程中，产生的气体可以进行图1企业运用西门子法进行制取多晶硅的工艺流程循环使用．不仅降低了原料的消耗，而且也降低了工3多晶硅生产中公用工程发生故障后的处艺过程中尾气的排放量，利于环境保护(图1)。理措施2多晶硅生产中公用工程发生供应故障的3．1氢气车间发生供应故障后的处理措施车间以及原因1)如果回收氢气的设备发生问题，那么要在生产多晶硅的厂区。其生产过程是由多个工艺保证氢气供应满足合成氯化氢的条件下，采取逐步车间组成的整体，某一个环节发生故障导致该车间降量或停炉的措施来进行检修，首先，对

5、H，供应量生产的原料供应不足就会影响生产链，最终影响到进行计算。这需要依据I-IC1的使用量来计算，利用多晶硅的产量。si+Hcl—SiHcl与H，+Cl，一HCl进行平衡量的计1)企业生产氢气的工艺车间发生供应故障，算。其次，再确定供应H，的量，降量的程度大小，原因可能有两个方面：一方面是回收车问发生故障，如需要量为100g，氢气供应量达到99g，则可考虑导致氢气的供应量不足；另一方面是制氢工艺发生回收设备的停炉处理。(下转第69页)收稿日期：2014-01—14作者简介：任志伟(1969一)，男，山西陵川人，工程师，从事化工生产管理工作。2920

6、14年5月陈冰：浅埋深煤层群下行开采底板卸压规律研究第23卷第5期涟(上接第29页)若混合物分离总量为100kmoL／h，则合成生产，因此需要进行快速检修恢复氯化氢的合一般H，的物质流量能够达到86．50kmol／h以上，成。如果分离工艺中不能达到该流量，且实际流量远远2)如果故障出现在冷冻盐水机组，首先要继低于计算流量．则要计算出需要量来进行维修。续维持冷冻盐水的循环，这样合成氯化氢就不受影2)如果是制氢车间的纯化、电解槽发生渗漏，响，然后再对机组进行检修也需要在保障供应氯化氢合成车间的需要量后进行3．6供汽车间发生供应故障后的处理措施检修，若没有

7、供应能力。则应该停止相应车间进行修1)如果故障发生在供气锅炉或是供气管线理。上，首先要查询动力车间，并核实恢复供汽的具体时3．2氮气车间发生供应故障后的处理措施间，同时要停止必须生产装置以外的其他车间用汽，如果是氮气管道泄露，应该在确定可以关闭的如氯化氢合成与三氯氢硅合成车间。时候进行检修。若是制氮装置发生故障，可以在短2)如果故障是由于减压阀门自动关闭．则要时间内修理。只需停止不影响生产的设备装置进行通知仪表维修工作人员进行快速抢修，使故障阀门快速修理，若短时间解决不了，只能上报公司并停产在最短的时间内还原，在维修的过程中，先要停止除检修。氢化还原

8、装置以外的其他用汽的装置与程序．确保3．3出现电路故障后的处理措施各个设备受到较小影响，并要依据一定顺序进行