我国微纳几何量计量技术的研究进展.pdf

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1、第３８卷第８期仪器仪表学报Ｖｏｌ３８Ｎｏ８２０１７年８月ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＡｕｇ．２０１７精密测量，智能制造的基石邾继贵（天津大学天津３０００７２）邾继贵，天津大学教授，博士生导师，国家首批中青年科技创新领军人才，国家杰出青年基金、中国青年五四奖章获得者，长江学者特聘教授。长期从事激光及光电测试、计算机视觉检测方面的教学科研工作。主持国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金重点项目、８６３计划、国家科技支撑计划、高档数控机床与基础制造装备国家科技重大专项等项目，曾获国家技术发

2、明二等奖１项、国家科技进步二等奖１项、中国专利优秀奖１项。随着社会经济的发展和科学技术的进步，全球率、高品质制造是智能制造的核心特征。信息的多范围内，制造业正以新的姿态重回大众视野，获得元化、获取信息手段和途径的多样化、信息保障的了超越以往的关注，各发达经济体都制定了面向未可靠性越来越占据重要的地位，面向制造的测量检来的制造业发展国家计划，制造业迎来了人类历史测技术研究及仪器设备开发，尤其是现场／在线测上又一个高速发展的契机。量与监控、产品高效精细化质量检测、装备运行在应该清醒地认识到，当今乃至未来制造业在保位测量等方面的技术研究及仪器设

3、备开发正在取持创造物质财富这一基本属性的同时，其内涵和手得快速地发展。段正在发生着深刻的变化，产品种类、质量、效率、本刊精密测量专题组织的系列文章，反映了热点个性化等都呈现出新的特征，创新制造理念、生产相关研究方向的代表性成果，作者均是长期从事相关模式、工艺方法、管理服务等已经成为必然趋势，研究的权威专家，一定程度上反映了国内精密测量技“智能制造”应运而生。术研究的水平与现状。希望专题的出版能够加强领高度融合制造要素（设计、工艺、装备、过程域同行间的交流与合作，提高我国精密测量技术的研等）、制造产品、运行服务等信息，实现个性化、高效究与应

4、用水平，助力制造产业发展与进步。第３８卷第８期仪器仪表学报Ｖｏｌ３８Ｎｏ８２０１７年８月ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＡｕｇ．２０１７我国微纳几何量计量技术的研究进展高思田，李琪，施玉书，李伟，黄鹭（中国计量科学研究院北京１０００２９）摘要：随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加，给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致，并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势，国外先进国家一直高度重视微纳几

5、何量计量技术的研究。目前，我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置，并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍，并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。关键词：微纳几何量；关键尺寸；量值准确；溯源；标准装置中图分类号：ＴＨ７１１文献标识码：Ａ国家标准学科分类代码：４６０．４０３０ＲｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆＣｈｉｎａ′ｓｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｍｅｔｅｒｇｅｏｍｅｔｒｉｃｑｕａｎｔｉｔｙｍｅｔｒｏｌｏｇｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙＧａｏＳｉｔｉａｎ，ＬｉＱｉ，ＳｈｉＹｕ

6、ｓｈｕ，ＬｉＷｅｉ，ＨｕａｎｇＬｕ（ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｒｅｓｅａｒｃｈａｒｅａ，ｓｉｎｃｅｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌａｎｄｄｅｖｉｃｅ′ｓｃｒｉｔｉｃａｌｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｓｉｚｅｄｅｃｒｅａｓｅａｓｗｅｌｌａｓｔｈｅｇｅｏｍｅｔｒｉｃｓｔｒｕｃｔｕｒｅｃｏｍｐｌｅｘｉｔｙｉｎｃｒｅａｓｅ，ｂｒｉｎｇｉｎｇｔｈｅｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｃｈａｌｌｅｎｇｅｓｉｎｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｍｅｔｅｒａｃｃｕｒａｃｙｍｅａｓｕ

7、ｒｅｍｅｎｔｓ．Ｍｉｃｒｏ／Ｎａｎｏｍｅｔｅｒｇｅｏｍｅｔｒｉｃｑｕａｎｔｉｔｙｍｅｔｒｏｌｏｇｙｒｅｓｅａｒｃｈｉｓｔｈｅｗａｙｔｏｋｅｅｐｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｑｕａｎｔｉｔｉｅｓａｃｃｕｒａｃｙ，ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙａｎｄａｌｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｔｒａｃｅｂａｃｋｔｏｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌｌｅｎｇｔｈｂａｓｉｃｕｎｉｔ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｋｅｅｐｔｈｅｃｏｕｎｔｒｙ′ｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｉｎｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｒｅｓｅａｒｃｈａｎｄｉｎｄｕｓｔｒｙａｒｅａ，ｄｅｖｅｌｏｐｅｄｃｏｕｎｔｒｉｅｓｈａｖｅ

8、ａｌｗａｙｓａｔｔａｃｈｅｄｇｒｅａｔｉｍｐｏｒｔａｎｃｅｔｏｎａｎｏｍｅｔｅｒｇｅｏｍｅｔｒｉｃｑｕａｎｔｉｔｙｍｅｔｒｏｌｏｇｙｒｅｓｅａｒｃｈ．ＩｎＣｈｉｎａ，ｃｕｒｒｅｎｔｌｙｗｅｈａ