微纳制造技术文献计量分析.pdf

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1、童壁塑窒墼塑窒盈丝垫垫堡Topics：Precision，Ultra—precisionandMicro-nanoTechnology微纳制造技术文献计量分析万勇马廷灿潘懿(中国科学院武汉文献情报中心，湖北武汉430071)摘要：对微纳制造技术领域2000-2010年时间段的SCI和EI文献计量分析，结果显示，近年来该领域的研究呈现出增长趋势，美国在微纳制造领域的研究处于绝对领先的地位。SCI文献分析表明，纳米尺度的制造技术、微米尺度的制造技术、微机电系统、微流体、微加工等是近年来研究的热点领域：E1分析则显示，光刻技术、微加工、微机电器件、纳米

2、结构材料、扫描电子显微镜等是研究的热点。关键词：微纳制造文献计量中图分类号：TH16文献标识码：BBibliometricsanalysisonthemicroandnanomanufacturingtechnologyWANYong，MATingcan，PANYi22(WuhanBranchofNationalScienceLibrary，ChineseAcademyofSciences，Wuhan430071，CHN)5OOOO0Abstract：Inthispaper，theSCIandE1bibleometricsanalysisshow

3、edincreasingcurrentinthemicroandnanomanufacturingtechnologiesfields．TheinvestigationofUnitedStatesisleadinginthisfield．BySCIbib—liometrics，thefocuspointslieonmanufacturingtechnologiesatnanolevel，manufacturingtechnologiesatmicrolevel，MEMS，microfluidicsandmicromachining．Meanwhi

4、le，byEIhihliometrics，lithogra—phy，micromachining，microelectromechanicaldevices，nano-structuredmaterialsandscanningelec—tronmicroscopyarefocuspoints．Keywords：MicroandNanoManufacturing；Bibliometrics制造业的发展对加工精度提出了越来越高的要2009年的2189篇，微纳制造技术领域的论文呈现出求，传统机床的加工精度已经远远不能满足飞速发展逐年增长的趋势。这从一

5、个侧面反映出，微纳制造研的消费及军工领域的要求，如电子芯片、大规模集成电究正日益受到人们的关注，图2表明的就是近1O年路以及对表面粗糙度要求极高的液晶面板等。于是人来，每年都有更多的研究人员投身到该领域的研究中。们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级到微米级，再到纳米级，于是微纳制造技术应运而生。广义上的微纳制造包括微纳米级精度制造以及体积小、重量轻、能耗低的微纳米级尺度制造等。本文选择SCI—Expanded数据库，利用关键词对2000年以来的全球科研人员发表的微纳制造技术领域的文献进行检索。数据采集时间为2010年12月13日，共

6、检索到文献15957篇。检索过程中，并未限秀秀秀定文献类型，以下统称为“论文”。利用ThomsonReu—年份ters开发的数据挖掘和可视化分析工具——TDA图1微纳制造技术领域SCI论文的数量年度分布图(ThomsonDataAnalyzer)开展文献计量分析。(2000-2010年)1SC1分析1．2论文学科分布根据WOS对期刊的学科领域分类，2000—2010年1．1论文数量和研究人员数量的年度变化趋势SCI收录的微纳制造技术相关的论文学科分布排在前由图1可以看出，自2000年的不足400篇，到五位的领域依次是：物理(偏应用)，占31．8％

7、；材料科·21·2012~1-主题：祷密．邋蒋密及徽纳加=l：堡。Ioplcs：?recision．Ultra-precisionandM

8、论文作者)的数量年度分布图(20O0—2OlO年)7OO6OO5004003OO化学技术20010OO图5各国家／地区发表的论文数量年度