阳极氧化制备InGaAsN激光器的研究.pdf

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1、分类号LDC：密级编号阳极氧化制备InGaAsN激光器的研究THESTUDYOFINGAASNLASERFABRICATEDWITH11～0学位授予单位及代码：篮壹堡工盔芏!!Q!竖2学科专业名称及代俏：堂芏f!ZQ!盟)研究万问：邈堂塑堡复逝型邀盘噩申请学位级别：亟±指导毅帅：垫毯盟嚣茧研宄生：王进长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《阳极氧化制各lnGaAsN激光器的研究》是本人在指导敦师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰

2、写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：2。址刍。≥。—止年_王月。基日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电予版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、

3、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：逃越年立a以一导师签名摘要本文采用脉冲阳极氧化的方法rPA01替代了以往的热蒸镀和磁控溅射方法。操作方法简单工艺周期短，与以往方法形成的Si02相比，脉冲阳极氧化方法成膜质量好。同时介绍了InGaAsN这种特性材料的优点，形成机制，波长范围，温敏特性等。对其中In和N的组分配比做了分析。外延片采用MBE系统生长，结合F-P腔和脊型波导结构。并对后续工艺做，细致的介绍和说明。这为我们本文获得高性能的InGaAaN应变量子阱激光器做了铺垫。我们对设计并制作出的激光器进行了数据测试，得到结果

4、如下：在室温20摄氏度时，lnGaAsN应变量子阱激光器的闻值电流为29mA，闽值电流密度290A／cm2，连续工作时最大输出功率15mW．斜率效率0125W／A，特征温度为133K。激射出的波长为I3um。通过对比分析得出结论，脉冲阳极氧化方法制各的钝化层与普通的磁控溅射方法制备的Si02钝化层相比，有着更好的致密性和牢固度。关键词：脉冲阳极氧化法(PAO)InGaAaN应变量子阱脊型波导ABSTRACTInsteadofformerwaysofthermalevaporationplatingandrnagnetronsputte

5、ring，thispaperadoptspulseanodicoxidation(PAO)methodComparedwiththetraditionalmethods．ulseanodicoxidation(PAO)methodisasimplewaywithashorterprocesscycleandabetterfilmqualityMeanwhile，thispaperintroducesthisparticularmaterialcalledlnGaAsNwithrespecttoitsmerits．formingmech

6、anism，wavelengthrange．tomp—eratutesensitivecharacteristicsandsoonAmongtheseaspects．thedistributionratioofInandNhasbeenanalyzedEpitaxialwafergrowswiththeMEBsystem．combinewiththeF-Pcavityandridgewavegnidestructures．andthedetailedintroductionandill—uRtrationforthefollov,ed

7、strainquantum—welIlaserWecarriedoutadatatesttothelaserdesignedandproduced．andtheresultsshowthat：Atroomtemperature20oCthethreshold—currentofInGaAaNstrainquantum-welllaseris29mAanditsdensityis290A／em2Theoutputpowerreached15mWincwmodefromthelaserwithawavelengthofl3runThesl

8、opeefficiencyoflaserreachedto0125W／AandthecharacteristictemperaturewaS133KWecalldrawaconclusionfromthecomp—ara