工艺基础知识（PPT50页).pptx

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1、培训目的：相关技术人员掌握必备的专业基础知识课程类型：技术类课目：工艺基础知识课时：2H主讲人：周锐编制：周锐审核：李定武核准：实施日期：2011年2月宁夏隆基系统标准化培训教育课件1.1单晶硅与多晶硅硅（台湾、香港称矽）呈灰色，性脆，易碎。其在自然界中呈氧化物状态存在，在岩石圈中的丰度为27.6%（重量），仅次于氧，因而硅的资源极为丰富。通常的工业硅（99.0-99.9%）不具有半导体性能，当将硅提纯到很高纯度（99.9999999%）时，就显示出优异半导体性能。下表中列举了硅的一些参数。培训教育学习

2、成长1硅单晶培训教育学习成长表1.1硅的参数硅原子在空间呈长程有序排列，具有周期性和对称性，这种硅晶体称为单晶硅。反之，硅原子在空间的排列呈无序或短程有序，称为多晶硅。因单晶的原子排列具有周期性和有序性，为了方便分析研究，人们选取能够反映晶体周期性的重复单元作为研究对象，称为晶胞。硅单晶属于金刚石结构，晶胞是正方体。八个顶点、六个面的中心及每条空间对角线上距顶点四分之一对角线长的地方各有一个硅原子。图1.2金刚石结构1.2晶向及晶面晶体生长中，常用到晶面和晶向的概念。晶体的原子可以看成是分列排列在平行等

3、距的平面系上，这样的平面成为晶面。通常选取正方体晶胞上的一个顶点作为原点，过原点的三条棱线分别作为X、Y、Z坐标轴，晶胞的棱长为一个单位长度建立坐标系。任意一个晶面，在X、Y、Z轴上都会有截距，取截取的倒数，若倒数为分数，则乘以它们的最小公倍数，都可以转换成h、k、l的形式，把整数h、k、l扩入圆括号，这样就得到晶面指数（hkl）。某一晶面指数为（123），或者更普遍地为（hkl），它仅表示晶面指数为h、k、l的一个晶面。为了表示平行于这一特殊晶面的一整族晶面，或需要指明具有某种晶体学类型的所有晶面，如

4、所有的立方面是具有（100）特性的晶面，常用｛｝括起晶面指数，这样，一切具有（100）晶面特性的晶面用｛100｝表示，叫｛100｝晶面族，它包括（100）、（010）、（001）、（—100）、（0—10）、（00—1）各晶面。为了标出晶向，通过坐标原点作一直线平行于晶面的法线方向，根据晶胞的棱长决定此直线点的坐标，把坐标化成简单的整数比。用［］括起来，称为晶向指数。为了表示一组相同晶体类型的所有晶向，用＜＞把晶向指数括起来，叫晶向族。图1.3常用的三种晶面在晶体的同一面族中，相邻两晶面之间的距离叫面间

5、距。同一晶面上，单位面积中的原子数叫面密度。晶面指数不同的晶面族，面间距也不同，面密度也不一样。单位体积晶体中原子总数是一定的，面间距较小的晶面族，晶面排列密，晶面的原子密度小；面间距较大的面族，晶面排列较稀，晶面的原子密度大。硅单晶生长时，{100}晶面族的法向生长速度最快，{111}晶面族最慢。硅单晶若用腐蚀液腐蚀，各晶面族腐蚀速率不同，{100}面族腐蚀速率最快，{110}面族次之，{111}晶面族最慢。为什么{100}晶面族的法向生长速度最快？1.3半导体材料固体材料按照其电阻率可分为超导体材料

6、、导体材料、半导体材料和绝缘体材料。半导体材料的电阻率一般介于导体和绝缘体之间，数值一般在10-4—108Ω.cm之间。但电阻率在10-4—108Ω.cm之间的并不都是半导体，半导体的电阻率受杂质及温度的影响。1.3.1杂质对半导体材料电阻率的影响半导体的电阻率对其所含的杂质量是非常敏感的。杂质含量的改变，会引起半导体材料的电阻率发生显著变化。例如，硅中磷杂质浓度在1021—1012cm-3范围内变化时，它的电阻率则从10-4Ω.cm变到104Ω.cm。目前电阻率可在这样大的范围内变化的材料并不多，它说

7、明了半导体中杂质含量是决定其电阻率的主要因素之一。1.3.2温度对半导体材料电阻率的影响对金属导体来说，当温度升高时，它的电阻率增大，但变化幅度不大。而半导体与此相反，当温度升高时，电阻率降低，温度下降时，电阻率增大，并且变化幅度很大。当温度变化300℃时，电阻率会改变几千倍到几十万倍。当温度下降至接近绝对零度（-273℃）时，半导体就成为绝缘体。因此要求在室温下（23±2℃）测量硅单晶的电阻率。2直拉单晶硅的基础理论2.1位错与拉晶2.1.1晶体缺陷实际晶体的空间点阵和理想的空间点阵不同，它无法作到绝

8、对的理想的规则周期排列，而是点阵在排列上有这样或那样不规则性，存在着点阵畸变，偏离空间点阵。那些偏离点阵的结构或地区通称晶体缺陷。根据缺陷相对晶体尺寸或影响范围大小，可分为点缺陷、线缺陷、面缺陷、体缺陷。2.1.2位错位错是一种很重要的晶体缺陷。晶体的位错是围绕着的一条很长的线，在一定范围内原子都发生有规律的错动，离开它原来平衡位置，所以叫位错。位错可以发生滑移和攀移运动并发生位错的增殖。硅单晶是典型的金刚石结构，并且是共价键结合，{111