光刻与微纳制造技术的研究现状及展望.pdf

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1、加工、澳5星与设备Processing，MeasurementandEquipment光刻与微纳制造技术的研究现状及展望周辉，杨海峰(中国矿业大学a．孙越崎学院；b．机电工程学院，江苏徐州221008)摘要：首先介绍了微纳制造的关键工艺技术——光刻技术。回顾了光刻技术的发展历程，介绍了各阶段主流光刻技术的基本原理和特点。阐述了国内外对光刻技术的研究现状，并讨论了光刻与微纳制造技术面临的挑战及其需要解决的关键性技术问题。然后重点介绍了浸没光刻、极紫外光刻、电子束光刻、离子柬光刻、X射线光刻、纳米压印光刻等技术的概念、发展过程和特点，并对不同光刻技术的优缺点和生产适用条

2、件进行了比较。最后结合国内外生产商、工程师和研究学者的研究成果，对光刻技术的未来发展做出展望。关键词：光学技术；微光刻技术；微纳米加工技术；下一代光刻技术；分辨率增强技术中图分类号：TN305．6；TN305．7文献标识码：A文章编号：1671—4776(2012)09—0613—06ResearchStatusandProspectoftheLithographyandMicro—NanoManufacturingTechnologyZhouHui，YangHaifeng(口．SunYueqiHonorsCollege；b．SchoolofMechatronicE

3、ngineering，ChinaUniversityofMiningandTechnology，Xuzhou221008，China)Abstract：Asthekeytechnologyofthemicromanufacture，thelithographytechnologyisintro—ducedfirstly．Thedevelopmenthistoryofthelithographytechnologyisreviewed，andtheprinci—piesandcharacteristicsofthemainlithographytechnologyat

4、eachstagearedescribed．There—searchstatusofthelithographytechnologyaregivenathomeandabroad，andthechallengesandkeytechnicalproblemsofthelithographyandmicro—nanomanufacturingtechnologyaredis—cussed．Thentheconcepts，developmentprocessesandcharacteristicsoftheimmersionlithogra—phy，extremeult

5、ravioletlithography，electronbeamlithography，ionbeamlithography，X—rayli—thographyandnanoimprintlithographytechnologyareintroduced．Theadvantages，disadvanta—gesandapplicableconditionsofthevariouslithographytechnologiesarecompared．Atlast，eom—binedwiththeresearchresultsofthemanufacturers，en

6、gineersandresearchscholarsathomeandabroad，thefuturedevelopmentofthelithographytechnologyisforecasted．Keywords：opticaltechnology；micro—lithographytechnology；microandnanofabricationtechno—logy；nextgenerationlithographytechnology；resolutionenhancementtechnologyDOI：10．3969／j．issn．1671—4776

7、．2012．09．007EEACC：2550G收稿日期：2012-06—04基金项目：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目．(JXl11742)；国家自然科学基金资助项目(51105360)；江苏省自然科学基金资助项El(BK2011218)；江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金资助项目(GZ200905)E—mail：zhouhuicumt@qq．coin2012#-9月微纳电子技术g49卷g9期613周辉等：光刻与微纳制造技术的研究现状及展望更接近曝光透镜镜片材料的折射率，等效地加大了0引言透镜口径尺寸与数值孔径(NA)，同时可以显著光制造是指通过光