微纳研究与制造中心

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1、微纳研究与制造中心厂商手册（版本号1.0）2014.03中国科学技术大学安徽合肥厂商手册目录目录第一章总则..........................................................................................................11.1申请和培训.............................................................................................11.2管理规章制度和处罚..............

2、...............................................................1第二章微纳研究与制造中心介绍......................................................................22.1概述.........................................................................................................22.2功能区域划分...................

3、......................................................................22.3厂商申请.................................................................................................32.4附表.........................................................................................................4第

4、三章洁净室操作规范流程..............................................................................73.1作业人员出入洁净室的基本要求.........................................................73.2洁净室更衣操作流程.............................................................................73.3设备、材料临时存放要求...................

5、................................................113.4设备、材料、工具搬入流程...............................................................113.5现场管理规范.......................................................................................123.6离场要求.....................................................

6、..........................................13第四章设备安装调试厂商技术要求规范........................................................144.1新设备搬入前准备工作......................................................................144.2设备搬入洁净室规范流程..................................................................154.

7、3设备安装调试规范流程.......................................................................164.4验收撤离...............................................................................................17第五章设备维修保养厂商技术要求规范........................................................185.1入场施工前事