激光扫边技术方案书(东莞).doc

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1、激光清边机技术方案一、刻划技术要求指标1.1工件规格：长×宽1100mm×1400mm1.2刻划速率：见工艺实验报告1.3刻线要求：刻线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘连短路（检测方式为万用表Ω档）1.4线宽：0.05-0。800mm误差：±0.02mm1.5采用1064nm波长的激光扫边机一台，一次性将透明导电膜（即TCO）膜层。非晶硅（即a-Si）膜层和铝膜层刻划至玻璃并呈完全透明状(一)激光扫边机技术指标简介1.设备名称：激光扫边机数量：1台(套)2、激光扫边机主要技术参数：2.1红外激光器激光工作物质：Nd：

2、YAG灯泵浦激光波长：1064nm激光功率：≥100W调Q频率：200～100KHz（连续可调）刻膜线宽：70mm±20mm刻划深度：0.01-0.2mm3、设备的主要组成及主要技术参数激光扫边机主要由红外激光器系统、声光调制系统及光学传输系统（飞行光路）、冷却系统、扫描聚焦系统、控制及软件系统、二维高精度运动系统及工作台所组成。3.1．1红外激光器采用灯泵浦激光器，独特一体化免维护密封设计。可在各种环境下工作。激光波长为1064nm具有安全保护和环境防护的功能，输出激光功率为100W。3.1.2激光电源楚天激光专

3、利，激光电源采用恒流开关电源，专利技术自产，结构设计合理。该电源主要由主电路、触发电路、预燃电路、控制电路、保护电路组成，具有过流、过压、过量保护装置。3.2声光系统及光学系统3.2.1声光调制系统声光调制系统由声光电源和声光调制器两部分组成，是在激光腔内起调Q作用的声光器件，具有脉冲速率高、控制方便、工作稳定可靠等特点。进口高功率声光晶体配置是英国G&H公司产品。激光调制前激光调制后3.2.2光学系统1）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统。3）配置4倍扩束系统，保证光束高质量3．3振镜扫描聚焦系统（1）扫描器

4、分辨率0.001mm重复精度0.002mm直线扫描速度最大至7000mm/s（2）F-θ平场透镜焦距f=254mm工作幅面160mm×160mm刻划≥160mm×160mm时可以采用移动高速二维运动系统来完成，速度快，运动精度高刻划≤160mm×160mm可采用直接振镜扫描方式，其优点在于速度更快。3.4冷却系统高精度制冷机组，控温精度为±0.1℃。楚天专利技术。此为激光功率和光束质量的一个重要技术点。3.5控制系统及高精密二维运动系统计算机控制系统是整个激光扫边机控制和指挥的中心，同时也是软件安装的载体。通过控制

5、声光调制系统、扫描聚焦系统、高精密二维运动系统（伺服系统）的协调工作完成对工件的激光扫边处理。激光扫边机的高精密二维运动系统是由x轴和y轴的两个伺服电机带动做水平二维运动。它们与伺服电机、电机驱动器以及运动控制卡一起构成了伺服系统。该伺服系统是保证激光扫边机完成高精度刻线的重要部分和核心部分之一激光扫边机的计算机控制系统主要包括计算机主板、CPU、硬盘、内存条、激光控制卡、运动控制卡（PMAC）、软驱、显示器、键盘、鼠标等其技术指标：重复定位精度：X轴和Y轴±0.05mm定位精度：X轴±0.03mmY轴±0.03m

6、m平行度：2μX、Y行程1500Χ1200mm工作台面上有多点可调支撑（树脂）及等距离距阵螺孔。在工作台上配有定位系统和气动夹紧装置。定位系统及夹紧系统在X、Y方向均具有可调性。3、工艺实验报告我们对样品进行了工艺实验，工艺实验表明工艺效果完全达到一次性将透明导电膜（即TCO）膜层。非晶硅（即a-Si）膜层和铝膜层刻划至玻璃并呈完全透明状工艺效果如图：工艺时间：单方形25mm×25mm九方形75mm×75mm线宽0.8mm工艺时间：6.2s说明：由于我公司生产激光扫边机刻线宽度指标50mm±20mm。如要求线宽还可

7、小，其工艺时间还可缩短。5、工作环境要求交流电：380V±5%，50Hz±5%环境温度：-10~-50°C相对湿度：≤95%6、随机备件序号名称单位数量1内六角扳手套12谐振腔膜片套23专用密封圈套14激光防护眼镜付15激光检测光片片17、随机提供的技术文件1、产品使用说明书1套2、软件使用说明书1套3、光路及电路原理图1套（并提供电子文档一份）4、设备结构总图1套5、产品合格证1套6、产品装箱单1套(一)激光扫边机功能及特点简介一、激光扫边机性能说明1.可对太阳能电池镀膜层进行激光扫边，适合不同镀膜层物质刻划，能

8、够一次性将三层膜扫边直至玻璃并呈透明状。2.该设备能够具有自主调节扫边深度的功能。具有对二氧化锡、非晶硅、铝等不同镀膜材料刻划自主调整参数的功能1.全电脑输入、输出，基于WINDOWS界面下可实现任意图形刻划2.采用一体化全内置设计，所有的光学及核心器件红外激光器及绿激光器、电子、机械器件高度集成。可提供极高的峰值功率和最好的光束质量3.实现了无接触式加工，