半导体设备行业系列研究十六：再生晶圆行业乘风而起.docx

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1、目录索引一、下游持续扩张，晶圆再生行业乘风而起6（一）晶圆再生：针对挡控片进行回收加工，是材料成本管理的重要一环6（二）产能与价格双驱动，再生晶圆需求向上11二、市场高度聚焦，立足国内、走向国际14（一）伴随下游崛起，全球再生晶圆产能集中于日本与中国台湾14（二）地域性较强，本土企业具备天然优势15（三）RSTECHNOLOGIES：全球再生晶圆市场龙头18三、从0到1，国内本土厂商有望迅速崛起22（一）下游积极扩产，国内晶圆再生需求快速增长22（二）积极布局，国内厂商有望快速崛起23四、投资建议与风险提示26图表索引图1：控片在晶圆制程中的部分应用6图2：全球工具及存储产品市场

2、结构（按产品分类）7图3：全球工具及存储产品市场结构（按市场分类）7图4：挡控片在晶圆制程中的需求量7图5：晶圆再生工艺流程8图6：化学机械研磨工艺流程9图7：超声波清洗法清洗过程9图8：中砂延性研磨与普通研磨对比10图9：中砂延性研磨与普通研磨效果对比10图10：全球再生晶圆市场规模（亿美元）11图11：全球半导体、硅片、再生晶圆出货量年增速11图12：全球硅片出货量12图13：全球硅晶圆价格走势（美元/平方英寸）13图14：全球硅片与再生晶圆市场规模（亿美元）13图15：2018年全球再生晶圆产能分布（按供应商国别）14图16：晶圆再生产业发展与半导体产业地域转移15图17：

3、全球12英寸再生晶圆市场竞争格局15图18：全球晶圆再生市场发展15图19：2018年全球再生晶圆出货量占比（12寸）16图20：2018年全球再生晶圆出货量占比（8寸）16图21：全球各区域再生晶圆份额（按照收入划分）16图22：2019年中国台湾再生晶圆市场格局（按产能计算）17图23：台湾3家晶圆再生企业营业收入（亿人民币）17图24：升阳晶圆再生业务营业收入（亿新台币）18图25：中砂晶圆再生业务营业收入（亿新台币）18图26：RSTechnologies业务19图27：2019年RSTechnologies收入结构19图28：RSTechnologies收入（亿日元）及

4、增速19图29：RSTechnologies营业利润（亿日元）及增速19图30：中砂晶圆再生业务营业收入（亿新台币）20图31：RSTechnologies2018年12寸、8寸晶圆再生业务客户占比20图32：2018年RST公司12寸晶圆再生业务各地份额21图33：2018年RST公司8寸晶圆再生业务各地份额21图34：RSTechnologies扩产计划21图35：RSTechnologies扩产计划22图36：至纯科技合肥工厂周边晶圆厂24表1：化学腐蚀重要参数9表2：RSTechnologies和中砂工艺优势对比10表3：国内再生晶圆市场空间测算（百万美元）22表4：国内

5、再生晶圆产能规划23表5：至纯科技在晶圆再生领域主要掌握技术24表6：至纯科技募投项目再生晶圆预计产能24一、下游持续扩张，晶圆再生行业乘风而起（一）晶圆再生：针对挡控片进行回收加工，是材料成本管理的重要一环晶圆制程中控片挡片起监控测试和维持稳定作用，为必需部件。硅片按照在晶圆厂的应用场景不同，可以分为两大类：（1）正片（PrimeWafer），被直接用于半导体加工，包括抛光片、外延片等；（2）用于监控测试的硅片，包括控片（monitorwafers）、挡片（dummywafers）/测试芯片（TestWafer）。制造晶圆的精细要求极高，硅片表面的平整度将直接关系到芯片的性能质

6、量，所以晶圆厂需要时刻对制造设备的性能进行监测测试以及维持稳定，以保证最终的成品率。由于这些测试和维持稳定都是破坏性的，直接使用产品测试以及维持稳定的成本较高，于是厂商一般会使用较便宜的无图形硅片，这些用于测试和维持稳定的无图形硅片就是控片和挡片。图1：控片在晶圆制程中的部分应用数据来源：中砂官网，控片主要用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净。通过使用控片，可以对离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀和研磨等制程中的例如电阻率、薄膜沉积速率、刻蚀速率、研磨速率以及均匀性等进行监测。简单来说，需要量测的就属于控片。测试方式包括离线测试和在线测试两种。离线测试是指在正式生产之前，

7、先用控片测试，通过控片的测试结果来看机台的工艺是否符合标准。在线测试是指控片和产品一起进入生产线，通过控片最后的效果来判断这一批生产是否符合标准。挡片的作用主要是维持机台的稳定性。使用对象包括炉管、暖机挡片、传送挡片等。在炉管中，挡片被用于隔绝制程条件较差的地方以及填充产品不足时空出的位置，对炉管内的气流进行阻挡分层并使炉管内温度均匀分布，从而使气流中的反应气体与被加工硅片均匀接触、均匀受热，发生化学物理反应，沉淀或生长均匀的高质量薄膜。图2：全球工具及存储产品市场结构（按产品分