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《ZnOGa透明导电氧化物薄膜的制备和研究.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、ZnO:Ga透明导电氧化物薄膜的制备和研究content1.背景介绍2.课题目标4.实验过程3.进程安排5.参考文献基础知识介绍及国内外研究背景1.氧化物透明导电薄膜透明：透光率T>80%，能隙宽度大，自由电子要少导电：电阻率~10-3Ω·cm，自由电子要多2.国内外的研究以及取得的成就1907年Bakdeker第一个报道了CdO透明导电膜20世纪50年代-----SnO2基薄膜和In2O3基薄膜20世纪80年代-----ZnO基薄膜出现研究热潮3.当前在该领域存在的瓶颈TCO平板显示、太阳能电池新材料需要
2、本次课题研究的目的及目标1.针对存在的问题，我们的研究有怎样的意义GZO：资源丰富透明导电性好2.通过一年的实验，我们期望取得怎样的目标制备出不同成份配比的GZO靶材；获得GZO薄膜性能特点与制备工艺之间的变化规律；找到合适的制备条件制备出性能优良的GZO薄膜具有代替ITO/AZO的广泛的应用潜能进程安排起讫日期主要研究内容预期结果2011.3-2011.6前期准备查找文献和学习理论，熟悉仪器操作2011.7-2011.8GZO靶材的制备制备出不同成份的GZO靶材2011.9-2011.10GZO靶材的分析
3、探究成份和制备工艺对GZO靶材结构的影响2011.11-2012.2GZO薄膜的制备改进制备工艺，优化GZO薄膜性能2012.3成果整理结题报告实验过程1.烧结靶材ZnO粉末和GaO粉末混合烧结成不同Ga含量靶材2.沉积镀膜脉冲等离子体沉积技术（pulsedplasmadeposition，简称PPD），将靶材蒸发沉积到衬底成膜3.性能检测成分和力学性能：1.AFM2.SPM3.X射线衍射4.台阶仪电学性能：1.四点探针法2.伏安法光学性能：1.紫外-可见分光光度计研究条件因素①Ga的质量分数配比；②蒸发室
4、最高温度和温度变化过程；③等离子体轰击速率；④脉冲占空比；⑤旋转靶材的转速及方向；⑥基极温度。创新点技术创新：PPD---脉冲等离子体沉积技术常用方法：VEP、MSP、CVD、MBEPPD：能保证薄膜与靶材中近似相同的元素计量比不同条件的尝试为高性能薄膜制备提供可能选材创新：ZnO:Ga常用材料：In2O3、SnO2中掺B、Ga、Al、F等GZO：ZnO宽禁带，易产生缺陷沉积温度低，稳定性好原子半径接近，晶格畸变小资源丰富，成本低廉实验主要难点国内外该领域用PPD研究GZO接近真空，相关资料甚少找到合适的靶
5、材制备环境和薄膜沉积环境工作量大探索GZO薄膜在室温条件下的制备条件参考文献XifengLi,WeinaMiao,QunZhang,LiHuang,ZhuangjianZhangandZhongyiHua,Theelectricalandopticalpropertiesofmolybdenum-dopedindiumoxidefilmsgrownatroomtemperaturefrommetallictarget,SemiconductorScienceandTechnology,2005,20:823
6、–828YanweiHuang,QunZhang,GuifengLi,MingYang,Tungsten-dopedtinoxidethinfilmspreparedbypulsedplasmadeposition,MaterialsCharacterization,2009,60:415–419T.Kakeno,K.Sakai,H.Komaki,K.Yoshino,H.Sakemi,K.Awai,T.Yamamoto,T.Ikari,Dependenceofoxygenflowrateonpiezoele
7、ctricphotothermalspectraofZnOthinfilmsgrownbyareactiveplasmadeposition,MaterialsScienceandEngineeringB,2005,118:70-73T.Yamada,K.Ikeda,S.Kishimoto,H.Makino,T.Yamamoto,EffectsofoxygenpartialpressureondopingpropertiesofGa-dopedZnOfilmspreparedbyion-platingwit
8、htravelingsubstrate,Surface&CoatingsTechnology,2006,201:4004-4007S.I.Kwon,S.J.Lee,T.H.Jung,S.B.Park,J.H.Park,W.C.Song,I.N.Kang,D.G.Lim,Highdensityplasmatreatmentofpolyimidesubstratetoimprovestructuralandelect
