AZO透明导电氧化物靶材及其薄膜制备的研究

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1、华中科技大学博士学位论文摘要近年来,随着液晶显示、触控面板、有机发光显示、太阳能电池等的发展，使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前，常用的锡掺杂氧化铟(ITO)透明导电薄膜材料中的金属铟属于稀缺资源，开发具有透光、导电特性的“非铟”材料已成为研究的热点之一。由于氧化锌基(ZnO)透明导电薄膜价格较为低廉，且不具毒性，在发展上具有相当的优异性。因此，对于氧化锌薄膜材料及其制备技术的研发，引起了大家的广泛重视。为此，本论文从事了如下方面的研究：采用胶态成型加常压烧结的低成本路线开发研制超高密度的Z

2、nO基陶瓷靶材；并采用所研制的超高密度的ZnO基陶瓷靶材进行了磁控溅射镀膜的研究；研究了不同工艺参数对薄膜性能的影响；并尝试研究制备了双层透明导电薄膜。主要结论如下：通过Zeta电位、粘度、沉降等测试，研究了添加剂含量、pH值、固含量和球磨时间对ZnO-Al2O3混合粉体水基悬浮液的稳定性、流动性等的影响。实验结果表明：添加聚丙烯酸（PAA）后，ZnO和Al2O3在pH8~10.3的碱性范围有较高Zeta电位，Zeta电位均低于–45mV。与单独添加PAA相比，同时添加聚乙二醇（PEG），ZnO和

3、Al2O3的Zeta电位没有明显改变。0.2wt%的PAA为饱和吸附量。PAA为饱和吸附量时，悬浮液在pH8~10.3范围内粘度较低、稳定性较好。当pH值为9左右，PAA质量分数为0.20%时，悬浮液粘度最低、稳定性最好。可制得固相体积分数55%的悬浮液。聚乙二醇添加量的增加，使悬浮液粘度增加、稳定性下降。悬浮体的粘度随固含量的增加呈指数关系增大。球磨时间以40h为佳。XRD分析显示a-Al2O3颗粒均匀而稳定的分布在ZnO颗粒之间。通过优化ZnO-Al2O3水基悬浮液的工艺参数，注浆成型制备致密

4、的生坯，最终烧结制得超高密度的ZnO-Al2O3复合陶瓷。研究了添加剂含量对生坯和烧结体的密度和强度的影响。用0.2wt%的聚合物电解质PAA和0.2wt%的粘结剂PEG分散，在pH9、固含量30vol%的条件下制备ZnO-Al2O3混合粉体水基悬浮液，注浆成型制得相对密度大于66.6%的均匀而致密的生坯，ZnO-Al2O3混合物生坯中颗粒均匀而致密。由于0.2wt%的PAA为ZnO-Al2O3混合粉体的饱和吸附量从而形成了分散性好的料浆。另一方面，添加0.2wt%PEG的生坯径向压溃强度增加到1

5、2.5MPa，有利于后续过程。在pH9、PAA和PEG的添加量均为0.2%的工艺条件下制得的生坯经1400°C保温2h无压烧结获得几乎全致密的烧结体（相对密度大于99.7%）。添加0.3%的PAA（PAA轻微过剩），促进了烧结体的强度和密度的提高。烧结过程中a-Al2O3与ZnO的反应生成物为ZnAl2O4的尖晶石相。显微分析显示其显微结构均匀，没有异常晶粒长大和其它缺陷，铝元素均匀分布。I华中科技大学博士学位论文在薄膜的制备中，基底温度的提高对于AZO薄膜导电性和透过率的提高有明显的促进作用。适

6、当提高基底温度，增加了吸附原子的迁移能，对于薄膜结晶质量、择优取向和掺杂有利。但玻璃基底温度不宜超过450℃。基底温度达到400℃时，薄-4膜的电阻率达到10量级，透过率到达90%以上。AZO薄膜的光学带宽均大于未掺杂ZnO薄膜的带宽（3.2eV）是由Burstein-Moss效应引起的。随着薄膜厚度的增加，晶粒尺寸增大、晶粒取向性变好、结晶质量变好，有利于电阻率的降低。可见光透过率随厚度增加逐渐下降，符合Lambert定律。当薄膜厚度较薄时，随着薄膜厚度的增加光学带宽减小是由量子尺寸效应引起的。

7、薄膜的电阻率随靶基距的增加而增大。靶基距对薄膜透过率的影响不是十分明显，透过率的改变主要是由薄膜的厚度效应引起的。AZO薄膜电阻率随溅射功率的增加在400W范围内呈单调下降趋势。溅射功率的提高有利于结晶质量的提高和Al的掺杂。随溅射功率的增大，溅射效率得到提高，薄膜厚度增加。透过率随溅射功率的增大而下降是由于薄膜厚度效应引起的。试验中未出现180W处电阻率最小的拐点，与本文采用了超高密度的溅射靶材有关。工作气压为0.1~1.0Pa的范围内，在不同的溅射功率下薄膜的电阻率最低值出现在一个适当的工作气

8、压下，是由溅射原子的平均自由程和等离子气的平均原子间距之间相互协调决定的。工作气压对薄膜的透过率和光学带宽的影响不是十分显著。在200-4-4℃和400℃玻璃基底上镀膜，最低电阻率分别可达5.3×10O.cm和1.09×10O.cm。较高的氧分压条件下薄膜的电阻率呈数量级增大，与氧空位数量减少有关。氧分压有助于薄膜的可见光透过率的提高，与有氧分压的条件下薄膜结晶质量提高、缺陷含量减少有关。但较低的氧分压（0.1%O2）不利于AZO薄膜的（002）择优取向。不同氧分压下光学带宽的变化