SEM铸造缺陷分析.ppt

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1、17年度素形材技術研讨会 旨在制造更高品质的鋳造品ー最新的鋳造品評価技術调查鋳造品缺陷的原因 「从試株式会社ツチヨシ産業 黒川 豊AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA1.前言2.SEM・EDSの概説3.SEM・EDSの試料制作4.鋳造缺陷解析・・・・以气孔缺陷为例,如若有時間的话,就其他缺陷作一说明本章节所叙述的是发生在铸铁件上的气孔缺陷、夹杂物缺陷、粘砂缺陷等的鋳造缺陷,采用表面分析仪器将缺陷部位由数百

2、倍放大到数千倍,通过调查微小部位的形状和成分,可以了解其原因的阐述1~4)。在这些分析中,主要采用的是带有能量分散型X线分析装置的电子扫描顕微鏡(SEM・EDS)。在本稿中就有关采用的SEM・EDS鋳造缺陷分析及其試料的制作到缺陷的解析作了说明。再者,就有关SEM・EDSの操作方法,请参考厂家提供的手册。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA2.SEM・EDSの概要(SEM)AFSAmericanFound

3、rySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA2.SEM・EDSの概要(EDS)AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA3.SEM・EDS的試料制作采用的分析試料・・・要有代表性的、最少3处以上。不能有锈、不能有涂料等的附着物。試料切断・・・不能损伤試料,要易于分析。特性X線要可以检测出来。試

4、料的清洗・・・去掉切断時的脏东西。清洗后要十分干燥。可以抽真空。試料真空镀敷(离子涂覆)・・・真空镀敷时根据需要进行。分析・・・先用低倍率看整体,之后,再提高倍率。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA①分析試料采集-1在夹砂集中的部位和渣化处。分析的地方,由于缺陷内部不一样,所以列举了N数。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastin

5、gCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA①分析試料采集-2試料1:左没有石墨膜、右有試料2:没有石墨膜試料3:有石墨膜分析的部位,有时缺陷内部不一样。→列举N数。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA③試料清洗刀片的成分試料2:将試料切断時的脏东西(刀片)通过清洗去掉試料1:清洗时去掉試料上的锈、毛刺。用镊子等去掉毛刺AFSAmericanFoundrySociety

6、.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA④試料真空镀敷(离子涂覆)通过离子真空镀敷检测Pt和Pd。Pt的最大量是与Zn的重叠,在没有真空镀敷的状态下分析。通过提高电流,不能看到清晰的SEM图像时,拍摄EDS分析后真空镀敷的SEM图像。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA⑤分析-1检测器的方向不可分析部

7、分(由于試料是凹的检测器呈阴影不能分析。分析可能部分分析顺序①确认缺陷的全部。②确定缺陷内部分析的部位。注意不要使检测器出现阴影。③分析。④拍摄分析部位的SEM图像⑤分析其他的分析部分。⑥拍摄整体图像AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCongress.108thCastingCongressJune12-15,2004--Rosemont,IL,USA⑤分析-2由于試料的观察方向的不同,形状有时也会不一样。最初先观察試料的整体,再依次扩大。AFSAmericanFoundrySociety.108thCastingCon

8、gress.108thC

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