电子厂洁净室空调系统简介课件.ppt

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1、台北科技大學陳良銅技師1電子廠 潔淨室空調系統 簡介主講人:陳良銅技師台北科技大學陳良銅技師2大綱潔淨室系統型式風管系統FFU系統軸流風機系統潔淨度與製程良率潔淨等級製程線寬與潔淨度濕空氣處理程序加熱冷卻冷卻除濕加濕大型電子廠架構概念圖MAU與空氣循環系統外氣處理空調箱FFU系統軸流風機系統台北科技大學陳良銅技師3潔淨室空調系統型式風管系統FFU系統軸流風機系統以風管輸送潔淨空氣循環空調箱兼處理外氣天花空間為正壓氣室獨立設置外氣空調箱天花空間為微負壓氣室獨立設置外氣空調箱示意圖示意圖示意圖潔淨度與製程良率濕空氣處理程序MAU+空氣循環系統台北科技大學陳良銅技師4風管系統(循環空調箱兼處理外氣)

2、潔淨度、溫度及濕度控制台北科技大學陳良銅技師5FFU系統(獨立設置外氣空調箱)潔淨度控制溫度控制濕度控制溫度控制台北科技大學陳良銅技師6軸流風機系統(獨立設置外氣空調箱)潔淨度控制溫度控制濕度控制溫度控制台北科技大學陳良銅技師7潔淨等級台北科技大學陳良銅技師8製程線寬與潔淨度之關係台北科技大學陳良銅技師9電子廠濕空氣處理程序冷卻除濕蒸汽加濕冷卻加熱等溫加濕蒸發冷卻等溫除濕化學除濕電子廠概念圖台北科技大學陳良銅技師10電子廠平面配置概念圖台北科技大學陳良銅技師11電子廠剖面概念圖台北科技大學陳良銅技師12MAU+空氣循環系統外氣空調箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預處理氣態分子之控制空氣循

3、環系統功能潔淨度之控制溫度之控制濕度之維持氣態分子之控制空氣循環系統潔淨室熱源分佈台北科技大學陳良銅技師13空氣循環系統FFU系統壓力分佈天花板構造→乾式排煙系統→洩漏→結露溫度分佈與控制軸流風機系統壓力分佈天花板構造→濕式排煙系統→洩漏→潔淨度溫度分佈與控制謝謝指教!台北科技大學陳良銅技師14外氣處理空調箱台北科技大學陳良銅技師15潔淨室熱源分佈台北科技大學陳良銅技師16FFU系統示意圖台北科技大學陳良銅技師17FFU系統排煙台北科技大學陳良銅技師18軸流風車系統示意圖台北科技大學陳良銅技師19軸流風車系統排煙台北科技大學陳良銅技師20祝大家心想事成

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