最新电子厂洁净室空调系统简介课件ppt.ppt

《最新电子厂洁净室空调系统简介课件ppt.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、电子厂洁净室空调系统简介大纲洁净空调特性空气循环系统换气次数FFU系统濕空氣性质及处理性质焓湿图处理程序MAU结构功能2洁净室空调系统特性（一）温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25℃～27℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～23℃,相对湿度为40～45％。对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发

2、气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。回主畫面3空氣循環量及氣流3.以非常高的换气次数达到控制室内温湿度的波动在设计要求范围内，并迅速排除微尘粒子。气流1.气流速度：根据试验发现，气流速度低于0.2M/S或高于0.7M/S均容易产生涡流，所以目前洁净室风速一般取0.25～0.5M/S范围之间。2.保持均一稳定的层流，是达到洁净度稳定效果的重要因素。3.障碍物对气流的影响：制程设备、人员、照明器具等。在调试阶段，我们投入大量人员和时间对洁净室内的FFU风速、气

3、流平行度进行调整，使其符合设计要求。回主畫面7MAU外氣空調箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預處理氣態分子之控制MAU外氣空調箱结构8濕空氣性质及处理湿空气性质温度高的空气吸收水的能力强。相对湿度：濕空氣水蒸汽分壓與同溫度飽和狀態下水蒸汽分壓之百分比，稱之相對濕度，單位為[%RH]。相對濕度越高，空氣之吸濕能力將越弱；反之，相對濕度越低，空氣之吸濕能力則越強；當相對濕度達100%時，稱之飽和狀態，此時之濕空氣不再具吸濕能力。以熱水盤管對濕空氣加熱，溫度將提高，此時濕空氣之絕對濕度不變，但提高後之溫

4、度，其飽和狀態下之絕對濕度將提高；因此，濕空氣之相對濕度將降低。9電子廠濕空氣處理程序冷卻除濕冷卻加熱等溫加濕蒸發冷卻100%10夏季空氣處理程序11冬季空氣處理12外氣處理空調箱Pre-filter(EU3)Medium-filter(EU6)CoolingCoil(Step1)CoolingCoil(Step2)OAMAAirWasherCelldeckRe-heatingCoilFanChemicalFilterHEPA(EU12)Back-draftDamperEliminatorFreezeP

5、rotection13潔淨室熱源分佈14FFU系統示意图15風管系統(循環空調箱兼處理外氣)潔淨度、溫度及濕度控制回主畫面16FFU系統(獨立設置外氣空調箱)潔淨度控制溫度控制濕度控制溫度控制17軸流風機系統(獨立設置外氣空調潔淨度控制溫度控制濕度控制溫度控制18潔淨室系統流程回主畫面MAMATRUSSFABRASHAFTRASHAFTRARARARAP=30PaP=-5Pat=22Ct=23Ct=25CRAPP=25PaRARADE-SMOKEOutsideRARA19初中英语语法总结初中语法分类初中

6、语法项目分类：（共8类）一般分类1、一般现在时2、一般过去时3、一般将来时4、现在进行时5、现在完成（进行）时6、过去进行时7、过去完成时8、过去将来时一般现在时构成：动词用原形三人称单数-s/es用法：表示经常性的动作或状态象征词：Every often alwayson天in月、季、节、年。一般现在时规则变化：一般-s–es辅音＋y---ies不规则变化:have----has例句：Hegoestoschooleveryday.Ioftenhavelunchathome.练习题：1. We ofte

7、n__________(play) in the playgound.2.  He _________(get) up at six o’clock.3. __________you _________(brush) your teeth every morning.4. What __________(do) he usually__________(do) after school?5.  Danny _________ (study) English, Chinese, Maths, Scienc

8、e and Art an school.一般过去时构成：动词用过去时Be—was/were用法：表过去某个、段时间内动作及状态象征词：ago/justnow/In1998last/yesterday等一般过去时规则变化：一般/去e双写/辅＋y结尾－ied不规则变化:go-wentcome-camedo-didleave-left等例句：Hewrotealetteryesterday.Istudiedhardlastyear.练习题：1. W