MEMS-实验-使用L-Edit画反相器布局图.doc

《MEMS-实验-使用L-Edit画反相器布局图.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、XXXXXXXX大学（MEMS）实验报告实验名称使用L-Edit画反相器布局图实验时间年月日专业姓名学号预习操作座位号教师签名总评一、实验目的：1、进一步熟悉L-Edit的使用，并且能正确、快速的使用这些工具；2、进一步掌握版图设计的设计规则；3、能运用L-Edit实现器件的布局图，掌握软件的基本设定、理解版图图层间的关系；4、绘制反相器布局图；二、基本原理：运用实验三中的nmos组件与pmos组件完成反相器布局图的设计。版图设计操作的基本流程为：进入L-Edit---建立新文件---环境设定---编辑组件---绘制多种图层形状--设计

2、规则检查---修改对象---设计规则检查---电路转化。三、实验内容及步骤（1）打开L-Edit程序——另存新文件——取代设定——编辑组件——坐标设定。（2）复制组件：选择Cell—Copy命令，或单击按钮，打开SelectCelltoCopy对话框，单击其中的Browser按钮，在出现的对话框中选择实验三所编辑的文件exp3.tdb，再在SelectCelltoCopy对话框中选择nmos组件，单击OK按钮，则可将nmos组件复制至Ex11.tdb文件中。之后再以同样的方式将pmos组件复制到exp4.tdb文件中。实验截图：（3）引

3、用nmos组件：选择Cell—Instance命令，打开SelectCelltoInstance对话框，可以看到，在组件列表中有Cell0，nmos与pmos这3个组件，选择nmos组件再单击OK按钮，可以看到编辑画面出现一个nmos组件。实验截图：（4）引用pmos组件：选择Cell—Instance命令，打开SelectCelltoInstance对话框，可以看到，在组件列表中有Cell0，nmos与pmos这3组件，选择pmos组件再单击OK按钮，在编辑画面多出一个与nmos重叠的pmos组件，可利用Alt键加鼠标拖曳的方式分开p

4、mos与nmos。（5）设计规则检查：选择Tools—DRC命令，进行设计规则检查的结果如图共发现有4个错误。利用L-Edit中的File—Open命令打开错误纪录文件Cell0.drc，系统显示有4个错误，都是违背了设计规则2.3b，并标出发生错误的坐标范围。先回到exp4.tdb文件，查看设计规则的2.3b规则。此规则说明ndiff层与NWell有最小距离的限制，最小距离为5个Lambda。其中，ndiff即为fieldactive与NSelect交集。之前的ndiff区与NWell区只距离4个格点，故违背设计规则2.3b。将nmo

5、s距离与pmos距离拉开一点，使NWell与nmos的Active区至少大于5个格点即可通过设计规则检查。（6）新增PMOS基板节点组件：选择Cell—New命令，打开CreateNewCell对话框，在Newcellname文本框中输入“Basecontactp”，单击OK按钮。（7）编辑PMOS基板节点组件：由于PMOS的基板也需要接通电源，故需要在NWell上面建立一个欧姆节点，其方法为在NWell上制作一个N型扩散区，再利用ActiveContact将金属线接至此N型扩散区。N型扩散区必须在NWell图层绘制出Active图层与

6、NSelect图层，再加上ActiveContact图层与Metal1图层，使金属线与扩散区接触。其中NWell宽为15个格点、高为15个格点，Active宽为5个格点、高为5个格点，NSelect宽为9个格点、高为9个格点，ActiveContact宽为两个格点、高为两个格点，Metal1宽为4=个格点、高为4个格点。利用L-Edit的观察截面的功能来观察该布局图设计出的组件的制作流程与结果。（8）新增NMOS基板接触点：选择Cell—New，出现CreateNewCell窗口选单，在Newcellname：中填入Basecontac

7、tn，单击OK按钮。（9）编辑NMOS基板节点组件：由于NMOS的基板也需要接地，故需要在PBase上面建立一个欧姆节点，其方法为在PBase上制作一个P型扩散区，再利用ActiveContact将金属线接至此P型扩散区。P型扩散区必须绘制出Active图层与PSelect图层，再加上ActiveContact图层与Metal1图层，使金属线与扩散区接触。其中Active宽为5个格点、高为5个格点，PSelect宽为9个格点、高为9个格点，ActiveContact宽为两个格点、高为两个格点，Metal1宽为4个格点、高为4个格点。利用

8、L-Edit的观察截面的功能来观察该布局图设计出的组件的制作流程与结果。（10）引用Basecontactp组件：选择Cell—Instance命令，打开SelectCelltoInstance对话框，在其