无尘室培训资料.doc

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1、洁净室简介提纲一、洁净室之定义二、洁净室的等级三、洁净室所要控制的内容四、洁净室之分类五、洁净室气流之流动六、洁净室之构成一、洁净室之定义　　洁净室(CleanRoom)，也叫无尘室。　「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。　　洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度

2、及温、湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。污染源知识1、发尘量洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；C、活动：动作时的发尘量一般

3、达到静止时间3-7倍；D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。2、发菌量分析国外试验资料可以认为：（１）洁净室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为900-2500个/min.人（２）咳嗽一次一般为70~700个/min.人喷嚏一次一般为4000~62000个/min.人（３）穿平常衣服时发菌量3300~62000个/min.人（４

4、）无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14（５）发菌量：发尘量1:500~1:1000据国内事例：（６）手术中人员发菌量878个/min.人所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/min.人，动态发菌量一般不超过1000个/min/人，以此作为计算依据是可行的。二、洁净室的等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。　　209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M

5、3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。　　美国联邦标准FS209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，最好的等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。ISO14644-1标

6、准国际标准化组织ISO正在制定洁净室的系列标准，它涵盖了洁净室的重要项目，例如设计、测试、运行、生物污染等。1999年出版了其第一个标准ISO14644-1，题为“空气洁净度等级“并给出了洁净室分级方法。ISO的洁净室级别按下述公式计算：  其中：   Cn为大于等于选定粒径之粒子的最大允许浓度（粒子数量/每立方米空气）   Cn四舍五入至整数，非零有效数字不超过3个。   N是ISO的级别数字，不大于9。可规定ISO的中等级别，等级差最小为0.1。   D是所选定的粒径，以μm为量纲的常数。   任何选定粒径的悬浮粒子之最大允许浓度，也就是级别，

7、都可以按3.1的公式算出。为说明分级限制，表3.3给出了ISO14644-1的分级级别。   应当注意的是，洁净室的ISO14644-1级别与联邦标准209的级别可以转换。如果ISO标准的每立方米粒子浓度被35.2除，就转换成没立方英尺的粒子计数。就可以在表3.3中找到联邦标准2090.5μm粒径的相应级别。例如，ISO5级相当于联邦209的100级或M3.5级。三、洁净室所要控制的内容　　1.能除去空气中飘游之微尘粒子。　　2.能防止微尘粒子之产生。　　3.温度和湿度之控制。　　4.压力之调节。　　5.有害气体之排除。　　6.结构物与隔间之气密性

8、。　　7.静电之防制。　　8.电磁干扰预防。　　9.安全因素之考虑。　　10.节能的考虑。四、洁净室之分类洁净室按用途分类