DB44∕T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法.pdf

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1、ICS.71.040.01N53备案号：47073-2015DB44广东省地方标准DB44/T1527—2015微束分析扫描电镜图像清晰度评价方法Scanningelectronmicroscopy-Methodsofevaluatingimagesharpness2015-02-11发布2015-05-11实施广东省质量技术监督局发布DB44/T1527—2015目次前言…………………………………………………………………………………………………………Ⅲ1范围…………………………………………………………………………………………………………12规范性引用文件……………………

2、………………………………………………………………………13定义及术语…………………………………………………………………………………………………14获得SEM图像的步骤………………………………………………………………………………………25SEM图像的获取和图像内区域的选取……………………………………………………………………66评价方法……………………………………………………………………………………………………67检测报告……………………………………………………………………………………………………15附录A（规范性附录）衬度噪声比的详细说明………………………………………………

3、………17附录B（规范性附录）傅里叶变换法（FT）详述……………………………………………………21附录C（规范性附录）对比梯度法（CG）详述………………………………………………………35附录D（规范性附录）微分法（DR）详述……………………………………………………………45附录E（资料性附录）图像清晰度评价的背底………………………………………………………62附录F（资料性附录）各种评估方法的特点和适用性………………………………………………66附录G（资料性附录）评估图像清晰度的测试样本制备方法………………………………………69附录H（资料性附录）测试报告实例…………………

4、………………………………………………71参考文献……………………………………………………………………………………………………73ⅠDB44/T1527—2015前言本标准使用翻译法等同采用ISO/TS24597：2011Microbeamanalysis–Scanningelectronmicroscopy–Methodsofevaluatingimagesharpness为了便于使用，本标准做了下列编辑性修改：——将规范性引用文件由原来的“ISO16700：2004，Microbeamanalysis——Scanningelectronmicroscopy——Guide

5、linesforcalibratingimagemagnification”改为“GB/T27788-2011微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则（ISO16700：2004，IDT）”；——将规范性引用文件由原来的“ISO/IEC17025：2005,Generalrequirementsforthecompetenceoftestingandcalibrationlaboratories”改为“GB/T27025-2008检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2005，IDT）”；——将规范性引用文件由原来的“ISO22493：2008,Micro

6、beamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—Vocabulary”改为“GB/T23414微束分析扫描电子显微术术语（ISO22493：2008，IDT）”；本标准按GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构与编写》和GB/T20000.2《标准化工作指南第2部分：采用国际标准》给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由广东省质量技术监督局提出并归口。本标准起草单位：广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司。本标准主要起草人：王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆

7、、熊磊、汪立文。本标准首次发布。ⅢDB44/T1527—2015微束分析扫描电镜图像清晰度评价方法1范围本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T23414微