工艺故障排除指南(单晶制绒).doc

《工艺故障排除指南(单晶制绒).doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、工艺故障排除指南单晶硅太阳能电池工序故障表现诊断措施制绒硅片表面大部分发白，发白区域未出绒面1、NaOH与IPA比例失调。NaOH含量偏低，不能充分进行反应，或者IPA含量过高，抑止反应进行。1、首先判断原因。2、增加NaOH的浓度，减少IPA的用量。3、如果不能调节，重新配制溶液。2、如果表现后续返工可以处理发白区域，则可以断定NaOH浓度不够。采用稀碱超声。3、表面清洁度不好。延长超声时间。4、溶液状态不够均匀。1、对溶液进行充分搅拌，补加溶液必须先溶解，加入之后必须进行溶液充分搅拌，使用烧杯或竿进行“8”字形状搅拌溶液。2、查看电源控制柜相应的加热开关是否都在

2、正常工作。硅片表面有白斑，部分白斑区域出现在不同硅片同一位置，白斑区域明显表现为被覆盖没有出绒现象硅片表面的有机物等污染物粘附于硅片表面，阻止硅片制绒。只使用柠檬酸进行超声，中间对超声槽溶液进行更换。硅片过腐，表现为绒面角锥体过大，减薄量过大碱浓度过大或反应温度过大，导致在<100>面上反应速率远大于  <111>面上反应速率。测试温度，确定是否为80度；稀释溶液浓度，同时保证溶液的均匀性；降低下次碱配制的浓度。单晶硅片四边都有白边仍有白边部份硅片反应不够充分，这部份对中间无白边部份偏厚。换言之，整个硅片化学反应不够均匀，中间部份反应放热不易，导致反应激烈。保证溶液

3、均匀，控制硅片中心速度，增加缓冲剂。硅酸钠溶液可视为缓冲剂。硅片两侧出现“花蓝印”的白边由于溶液中硅酸钠的浓度过大，粘稠度增加，使得承片盒与硅片接触的地方得不到充分反应。视花蓝印的严重程度和数量。通常需要对溶液进行部分排放，并进行补对。鼓泡此时一定要开启。雨点氢气泡粘附或氢气泡移动缓慢形成。雨点处的绒面相对正常区域主要表现为制绒不够。1、及早发现，并进行IPA补加，通常会去掉或消弱痕迹。2、即使形成雨点状不必继续返工，镀完减反射膜，可以盖住。但这并不是成为做出雨点而不加以改善的理由。制绒时槽内硅片区域性发白溶液不均匀或硅片本身原因导致。长时间制绒未见效果，对相应区域

4、进行少许NaOH补充，撒在相应槽区域即可；下次制绒之前需要对溶液搅拌均匀。制绒时硅片漂浮制绒IPA量不足，导致氢气粘附于硅片表面，没有及时被带走。补加相应IPA量即可。