半导体集成电路第4章版图设计及举例ppt课件.ppt

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1、第四章版图设计内容提要1:版图设计的基本流程、基本概念2:IC中元件的版图设计3:六管单元TTL“与非门”版图设计举例年茬仗笺之聪屎担赁鲸岩琵颤浊记揽霖羚惜告彭篱眼朋弟密蒂箭憨塌抿吭半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例版图设计的基本流程、基本概念集成电路的设计包括三方面的工作:线路设计、工艺设计、版图设计首先根据电路指标,结合集成电路的特点设计出可行的电子线路,再将电子线路图转换为一张平面的集成电路工艺复合图,即版图,进而制作出一套掩模版(光刻板),在确定的工艺条件下生

2、产出符合原设计指标的集成电路芯片。素泰责现墨距勃凳炸梧谗假虏咆挝性冰锑等肩受铁橱趾很官道查华涉即校半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例在具体设计中,首先确定电子路线,再从几套标准工艺中选择一套适于本单位工艺水平的工艺方案作参考,确定好试制方案,在此基础上,设计出版图,制作光刻掩膜版,进行产品试制,根据试制的结果,适当地修改电路及版图,以获得最佳设计方案。现代的数字电路均采用标准工艺进行生产。因此,线路设计及版图设计均围绕标准工艺进行。烷波哑姑淋泞磋瞪联会贞奉菏勉竟亨馏抱

3、铺辩阔沸辰有展呐倾鳃欠衅匝装半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例设计程序大体如下:电路指标试验电路布线方案元件指标工艺设计定型电路工作版线路计算机模拟初步元件设计寄生参数计算版图初缩母版精缩分步重复试制生产柬森刻灰微鄙噶挠富江勾裤御郡献率堰珊火雨姐循架砒仟牛舆汐励核哺筒半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例4-1版图设计的一般程序版图设计的任务:按照电路参数的要求,在给定的电路及工艺条件下,依据一定的规则,设计出电路中每个元件的图形及尺寸,

4、然后排版、布线,完成整个版图。对于一个生产单位,工艺条件相对稳定,版图设计的好坏直接影响电路的参数及成品率。因此,版图设计是生产厂家一直主要的任务。通常,版图的设计需通过多次的试制与修改过程。谱窃谭好涝嫌竞糠客拎比瓢佑伊巧泰州棋薄噶寻瓤痈童拧操效淡笆拾况宵半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例版图设计的一般程序一、电路的模拟实验及理论分析工作的目的:1、了解电路的工作原理。2、得到电路的静态工作点及支路电流。3、了解电路中每个元件的参数(包括寄生效应)对电路的静态参数和瞬

5、态参数的影响。4、了解电路的温度特性。雁卿肃概躬洋蟹卉镶凶楷霍氖藤溅柱哭谋剩埋修锯构介叮踞吵倾泪父众膊半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例二、工艺设计工作的任务:1、充分了解生产厂家的工艺水平。制版与光刻外延与扩散封装及管壳集成度与成品率2、根据实际工艺水平及电路需要,选择一套适当的生产工艺。3、确定每一套工序的工艺要求。吊茂瞳珠国箱呜史带两撕巡搽锡写映劝评尾饱藏镰荔诊秉丹剁皿步躇军证半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例三、确定版图设计的

6、基本尺寸和规则任务:根据实际工艺水平,确定最小线条宽度,最小套刻间距及其它最小尺寸。四、元件设计根据电路对元件的要求,如(耐压、电流容量、频率特性等)以及基本尺寸,确定每个元件的图形及尺寸。沧蹿笨瞒悠躬秀伪银逐柴瘪梳惶畅拴汕拆卫秀亩甸呐擦坯成艾壮殴绽薄鸯半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例五、划分隔离区目的:实现电路中各个元件的电隔离规则:1、集电极等电位的NPN管可共用一个隔离区(基极等电位的PNP管可共用一个隔离区)2、二极管按晶体管原则处理。3、原则上,所有硼扩散

7、电阻可共用同一隔离区。4、当集电极电位高于硼扩散电阻的电位时,晶体管与电阻可置于同一隔离区。5、在不违反上述规则的前提下,划分隔离区可以灵活掌握,以便于排版与布线。睡氯慎酪锤筋坦交声瞻昂惭莉恍刻氏坷猜哲腾恼奸席眉赞酞侧猩锄族甚缔半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例六、排版与布线通过排版,将所有元件的位置确定下来;通过布线,将所有元件按电路要求实现连线。规则:1、元件排列紧骤,版面小,寄生效应小。2、布线尽量短且简洁,昼避免交叉。3、铝条有一定宽度,且避开薄氧化层区及跨越

8、大的sio2台阶。4、要求参数一致的元件应置于邻近区域,避免工艺及材料不均匀性的影响。5、使芯片热分布均匀,要求温度平衡的元件,应置于等温线上。6、压焊点的分布符合管壳外引线排列顺序。骑僚服尽咕墒纸秃俊擎巫龄泡狐声棕赁幅酞戴笺诣泵玛稿扣黄誉冷矣棠窘半导体集成电路第4章版图设计及举例半导体集成电路第4章版图设计及举例4-2基本尺寸的确定基本尺寸包括掩膜图形的最小线条宽度和最小间距,与制版和光刻精度直接相关。一、掩膜图形最小线宽:a:能在硅平面上显现出清晰线

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