自动光学检测仪.doc

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1、用在多层板的内外层或高密度双血板表面质量的检查。但是在其它方面的应用也比较多，特别是对高密度互连结构（HDD微通孔和表面的检查。而且还应用在IC封装和装配中的印制板的检查。AOI很有效地应用诸多方面，为提高印制板的表面质量，发挥了重要的作用。%1.底片的检查自动光学系统的设计是根据底片检查工艺特性，采用透射的模式即将需要检查的底片放置在玻璃桌台上，而不采用抽真空台面，而是通过玻璃更面的下的光束透过玻璃进行对底片的扫描来检查底片相应位置上的缺陷。使用这种方法对底片进行表面质量的检查，为更加清晰的将印制板表面缺陷

2、呈现出来，对该系统的放大装置作了很大的改进，达到了既是印制板表面的很小的缺陷都能检杳出来。当在印制板生产过程中使用该系统时，就能将印制板面的5pn】和5囚】】以下的缺陷检查出来，并且能够适当的区别错误的真假,就是采用高级的识别系统大大的减少故障缺陷的发生。在反射模式将白色的纸放置在光具（底片）之下,介于光具透明和不透明范围之间，以提高其对比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的A01系统。这种方法不是通用的的，更多的倾向是由于微小的划伤，才会出现假的缺陷报告。另外，容易产生错误的是由于光具表面银粒子无光泽

3、，再通过AOI的反射模式，特别是焦点不是在光具银乳胶膜上，就很容易出现假的读出。而表面无光泽的粒子致使真空度下降。这些粒子是甲基丙烯酸树脂，直径大约7微米，它能够使光发出散光。如果A01是开始并记录应该发现的缺陷，唯一的其缺陷的尺寸应比10微米要大，这样用它来检查就能解决所存在的质量问题，而旦还有•可能解决对精细导线（S/L=30/50微米）的检查。对于有•阻抗要求的导线宽度公差控制不会比±5-10微米变化更大是可能的。而AOI的灵敏度不会记录这样的线宽变化。检查光具（即底片）通常应该在清洁的、黄光室内进行，

4、不建议到AOI作业区进行检查，应此区域清洁度不够。因此，实际上AOI机不是检查内层或外层的光具膜的机器。.AOI实际上也可以检验玻璃底版的图像质量，即玻璃上镀铭膜。这些底版通常制作和检验是通过转包公司再送交PWB制造厂的。典型的要求就是底版上的缺陷的尺寸在5微米或更大些。许多使用玻璃底版的用户也使用检查玻璃的工具进行检查，以延长使用的寿命。但使用玻璃底版也很贵。玻璃底版至少要曝光百次以上，最典型的次数为200-500次，就必须使用AOI对玻璃底版图像进行质量检查，还可以通过曝光试验，如底版的图像好就可以接着使

5、用，或者进行修整。%1.覆盖有光敏抗蚀剂的板在进行显影前的潜像质量的检查这一步最基本的想法就是在湿处理前，对板的图像与孔对准度进行检查，及早发现如仃质量缺陷就很容易得到解决。但是，检查的这种类型膜层的潜像不是广泛地，这是因为板膜层的颜色均匀而且差别很大，特别在对已曝光和非曝光范围的膜层，即使用特殊过滤器也是较难发现质量问题，其察觉率是较低的。%1.在铜的表面检杳显影后的图像质量在印制板的铜的表面检查显影后的图形使用的更为普遍。对显影后的图形检查，主要侧重点检查的是图形的对准程度和质量缺陷，同时也可以通过对显影

6、图形的检查，也可以及时发现光具（底片）图像是否有缺陷或其它如灰尘、划伤或沾污，或曝光机存在的其它问题。使用AOI对表面图形的检查，就是利用图形介于光敏抗蚀膜的颜色反射能力低和铜颜色反射能力高的差别进行检查。因为抗蚀剂层的颜色发暗，因此两者比较容易好对比。在多数的情况下，所使用的抗蚀剂的颜色是兰色的或带兰色-绿色颜色关型，那一种类型的颜色差别更大，需经过曝光后的图像所形成的那种颜色更为强烈，其检查的效果就比较理想。通过AOI的滤色系统就可以将兰色转换成黑色，提高与铜表面颜色的对比程度。通常在AOI系统内装有“旋

7、转式滤色器”的颜色转换装置，进行适当的选择对图形进行优化处理,以提高对比度。近来利用先进的计算机系统，使AOI系统的改进，从而获得比较高的图像对比程度。特别是该系统过滤器的选择，将更清晰的标定轮廊保存在文件中，并更大的改善了检查底片到检测错误以避免发生错误的能力。%1.检查导体电路图形（蚀刻后）的质量将抗蚀膜层退除后，检查导体铜电路图形坡广泛的是使用AOU在这方而的应用是非常普遍的，要获得图像的清晰度的提高，完全决定于过滤器的适当选择，使铜导体表而呈现出不同的变换。最多的情况，AOI系统检查蚀刻后的导线宽度，

8、这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现，这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。特别是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。同样对多层板的外层的导体线路蚀刻时，更需要进行选择和调整，以确保导线蚀刻后的形态达到平衡。特别经过混合加工的表面，即涂OSP和镀金，用自动检查系统就显得困难。虽然如此，但该系统装备有人工智能，通过适当的应用调节规则，它能自动地检测电路和板而范围的