TFT制造原理和流程演示教学.ppt

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1、TFT制造原理和流程一、液晶显示器(LCD)的基础1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义液晶的发现1888年，奥地利植物学家F.Reinitzer在测量某些有机物熔点时发现：1889年，德国物理学家O.Lehmann发现：这类不透明的物体外观上属液体，但具有晶体特有的双折射性质，于是将其命名为“液态晶体”固态不透明浑浊状态透明液态加热冷却加热冷却2一、液晶显示器(LCD)的基础液晶:一种液体状结晶性物质，介于固体(结晶)以及液体(非结晶)之间的第四状态(中间状态)，具有流动性以及各向异性(光学各向异性，如双折射效应).液晶显示器:利用外加电压以及

2、液晶材料本身光学各向异性(如双折射效应以及旋光特性)，进而显示所需要的数字、文字、图形以及影像等功能的一种人机界面的信息、通讯、网络的系统。1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义3一、液晶显示器(LCD)的基础扩散・光学薄膜导光板荧光管接续电路基板驱动用LSITCPCF基板偏光板液晶盒Array基板液晶显示器的构造模式断面图1.2液晶显示器的基础及原理4一、液晶显示器(LCD)的基础封框胶信号配线端子Gate配线端子ＴＦＴ基板CF基板Ag电极配向膜液晶面板的构造平面图(TFT型)1.2液晶显示器的基础及原理5一、液晶显示器(LCD)的基础偏光板C

3、F基板盒垫料转移电极(Ag)封框胶封框胶垫料取向膜TFT基板偏光板液晶BGRITOBM液晶面板的构造断面图(TN型)1.2液晶显示器的基础及原理6一、液晶显示器(LCD)的基础彩膜空间混色法实现TFT－LCD彩色化TFT基板彩膜的结构偏光板TFT背光源偏光板液晶黑色矩阵提高对比度降低Ioff1.2液晶显示器的基础及原理7二、TFT-LCD制造基本流程及设备２．CELL工程３．MODULE工程ＴＦＴ基板玻璃基板1100×1300成膜→光刻（反复）ＴＦＴ基板贴合彩膜取向→液晶滴下→贴合→切断(15型16片)面板端子接续电路基板安装背光源面板外框组装

4、液晶面板完成2.1制造流程概要8二、TFT-LCD制造基本流程及设备2.2ARRAY工艺流程及设备Ｇ工程Active&S/Ｄ工程Ｃ工程ＰＩ工程检查(TN-1)检查(TN-2)ＴＮ：４MaskProcessCell工程Ｇate工程Active工程钝化层工程ITO工程检查(SFT-2)ＴＮ：５MaskProcess检查(SFT-1)Cell工程S/Ｄ工程Repair(TN-1)Repair(TN-2)Repair(SFT-1)Repair(SFT-2)Glass购入,洗净后使用Glass购入,洗净后使用9ARRAY制造流程图10TFTArray组成

5、材料11TFT–GATE电极形成12TFT–Active(岛状半导体形成)13TFT–S/D源漏电极形成14TFT–钝化层及接触孔形成15TFT–ITO像素电极形成162.2ARRAY工艺流程及设备装料周转盒机械手传送装置UV药液喷淋刷洗高压喷射MS气刀传送装置机械手卸料洗　浄172.2ARRAY工艺流程及设备洗　浄ＵＶ药液刷子高圧ＭＳＡ／ＫＰＤＡ排水Ｐ排水Ｐ纯水ＤＡ洗净功能洗净对象作　　用Ｕ　Ｖ药液刷洗高压喷射Ｍ　Ｓ氧化分解溶　解机械剥离机械剥离机械剥离有机物(浸润性改善)有机物微粒子(大径)微粒子(中径)微粒子(小径)ＵＶ/Ｏ３溶　解接触压

6、水压加速度cavitation18PVD（溅射）：物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition)2.2ARRAY工艺流程及设备工艺室Ａ工艺室Ｂ搬送室工艺室Ｃ加热室进料室卸料室自动移栽装置19PVD：物理气相沉积PVD(PhysicalVaporDeposition)阴极靶材阳极腔体泵基板2.2ARRAY工艺流程及设备202.2ARRAY工艺流程及设备PECVD：电浆辅助化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition212.2ARRAY工艺流程及设备PECVD：电浆辅助化学气相沉积Plasm

7、aEnhancedChemicalVaporDepositionプロセスヒートトランスファーＬＬ／ＵＬローダー加热腔工艺腔装载台纳入(大气到真空)/送出腔(真空到大气)机械手222.2ARRAY工艺流程及设备PECVD：电浆辅助化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition除害装置（scrubber）ＭＦＣＭＦＣＭＦＣ汽缸cabinet气体BOX气体吹出电极（阴极）ヒーター等离子体Ｍ．ＢＯＸＰ控制ＲＦ电源下部电极（阳极）压力计节流阀干泵气体供给流量控制ＲＦpower压力控制真空排气特气对应工艺腔体（电极部

8、）232.2ARRAY工艺流程及设备INCVEUVNCVETCHZONEDIRINSEUNITA/Kdry2dry1液刀风帘干燥风刀置换液刀OutCV