6、精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁净控制等);(5)超精密加工的测控技术。 80年代,美国UnionCarbide公司、Moore公司和美国空军兵器研究所等制定了一个以0.1μm形状精度、加工直径为800mm的大型球面光学零件超精加工为目标的超精密车床研究计划——举世闻名的POMA(PointOneMicrometerAccuracy)计划。该计划所产生的影响十分深远,其指标至今也尚未过时,90年代日本学者在此基础上提出了今后努力要达到的目标值,如表1所示。表1 POMA计划的精度目标值和今后的精度目标值Tab.1 T