1《直拉单晶硅工艺技术》

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1、课程授课计划选用教材及参考资料《直拉单晶硅I:艺技术》黄有志主编化学I:业出版社课元号授单序求要与内学教要主醜S^写学A节一各i二1z«周次占⑴地'课授舰实验实训lz1zf识伽识:4:晶格1-1球！内丨要熟学学2第1周楼学教2)二z(v识s识础知闩日体••.4••晶容1-1求悉内1•要制学学教教2第1周楼学教3•9匕匕厶H功分丨部曰-B0炉拉单直拉:.5:直容1-2求艇内2•要了学篆2第2周楼学教4识hVA銶料晶晶h多和与硅料晶:射：$容晶求dzn内吊要V学学2第2周格室金：紗冶头5生晶单对其及去场表静、力和含场的热场态统热动系握悉容热

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3、周教学楼12教学内容：5.2-53石英坩埚教学要求：1、了解石英坩埚的制造；2、熟悉石英坩埚的质检和使用屮损坏形式。2第6周教学楼13教学内容：多晶硅装料参观教学要求：掌握多晶硅装料的方法；2第7周光伏企业14教学内容：5.4.5.7原辅料、自动硅料清洗机教学要求：1、熟悉直拉单晶川到的原辅料和处理方法。2、了解硅料清洗机的使用。2第7周教学楼15教学内容：6.1-6.2直拉工艺流程教学要求：掌握直拉工艺的整理流程2第8周教学楼16教学内容：6J-6.4抽空及熔料教学要求：1、掌握抽空熔料环节温度压力的控制2、熟悉当中的部分参数2第8周教学楼

4、17教学内容：6.5-6.6收尾及停炉教学要求：1、掌握收尾停炉的工艺；2、熟悉常见生产故障/事故的处理方法。2第9周教学楼18教学内容：6.7拉速温校曲线的设定教学要求：了解拉速及温校曲线大致走势；2第9周教学楼19教学内容：6.8-6.9坩埚升速的计算教学要求：掌握坩埚升速的计算方法2第10周教学楼20教学内容：7.1光伏产业简介教学要求：1、了解光伏材料的发展方向；2、熟悉光伏材料制造的常用方法。2第10周教学楼21o项事意注和观法参方勺勺ft白涂涂:喷••喷容埚求埚内坩要坩学參悉2第11周业企伏光2271zrO构討结户户匁曰Ir•

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7、部存档一份，报送教务处一份。