IC工艺技术9-双极型集成电路工艺技术.ppt

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1、集成电路工艺技术讲座第九讲双极型集成电路工艺技术双极集成电路工艺技术集成电路中的晶体管和无源器件工艺和设计的界面－设计手册PN隔离双极工艺流程先进双极工艺工艺和器件模拟在工艺设计中的应用（一）集成电路中的晶体管和无源器件NPN晶体管结构外延和隔离埋层和深集电极PNP晶体管集成电阻和电容集成电路中的NPN晶体管集成电路中的PNP体管集成电路中的PNP体管集成电阻pn金属集成电阻Pinch电阻PbaseＰ衬底NEpi集成电容NP+金属介质层（二）工艺和设计的界面－设计手册器件和工艺指标设计规则简要工艺流程和光刻版顺序光刻版

2、制作要求PCM文件模型参数2um18VspecParameterSymbolMinTypMaxUnitNPNtransHfe80140250Bvceo1835-VLPNPtransHfe100250400Bvceo1840-VIsoBVBviso2035-VFieldVthVth182536VCapacit.CAP8.510.612.7PfImplantRIR18.4k23k27.6kΩ2um18VspecItemMinTypMaxSize(um2)RBN()10515019520x200R-Epi()7.35k10

3、.5k13.5k20x200R-DN()15253520x200R-PBAS()1.9k2.15k2.4k20x200R-XBAS()21030039020x200R-IR()18.4k23.0k27.6k20x200R-NEMT()608010020x200设计规则－设计与工艺制作的接口目的：使芯片尺寸在尽可能小的前提下，避免线条宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题，以提高电路的成品率内容：根据实际工艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)，给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制，主要包

4、括线宽、间距、覆盖、露头、面积等规则，分别给出它们的最小值，2um18V设计规则例BPaminwidth4umbclearancetoBN8umBN2.bISOIslandBP2.a2.cISOIslandDummyislandIsland2um18V设计规则例DeepN+aMin.Width4.0umcBNextensionDN1.0umdClearancetoBP9.0umBNDNDN3.a3.c3.b3.b3.eISOIslandBP3.d2um18V设计规则例Isolation(ISO)aMin.width4.0

5、bClearancetoBN8.0umdClearancetoDN9.0umBN4.bISOIslandISO4.adummyIslandDN4.d4.c2um18V设计规则例N+Emittera1Min.width4.0umiPBASextensionNEMT1.5umjSpaceNEMT3.0umIslandISO(BP)IR7.a8.bBN8.cDNPBASSNSN8.aXBAS8.e8.d8.g8.i8.hSN8.j8.fNPNTransistor8.h8.iPBASXBASNEMTisland8.a2um18V

6、设计规则例contacta1Min.Width2.0umbXBASextensionBCONT1.0umNPNXBASSNBCONTTOPBAS10.a1,210.b10.c10.d10.e10.cBCONTNEMTBCONTTOBCONTTOBCONTTO10.a22um18V设计规则例MetalaMin.width3.0umeSpace2.0umunder500umparallellinefSpace3.0umOver500umparallellineM112.aSN12.c12.f12.eCO12.gPAD12.h

7、M1M112.iCAP12.dBriefProcessflow&MaskSequence1Startingmaterial2Initialoxidation3BuriedNphoto/etch4BNimplant5BNdrive-in6BuriedPphoto7BPimplant8Epigrowth9Initialoxidation10DeepN+photo/etch11POCl3pre-depositionandoxidationBriefProcessflow&MaskSequence12*Pbasephoto13*

8、PBASimplant14*Implanterresistorphoto15*Resistorimplant16*ExtrinsicPbasephoto17*XBASimplant18Drive-in19NEmitterphoto/etch20NEMTimplant21NEMTdrive-in22Capacitorp