dss多晶炉操作手册

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1、GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.DSS炉操作手册80GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.DSS炉操作手册11.安全41.1本地代码和标准41.2安全文件41.3安全符号41.4安全保护措施42.设备规格82.1外围设施要求82.2设备平面图113.系统概述123.1介绍123.2操作原理123.3系统硬件124.控制平台144.1操作显示屏144.2报警按钮144.3结束触发报警按钮154.4接触器断开界面164.5浏览界面174.6细节界面174.7模式界面194.8前进到下个阶段194.9你确定想终止界面吗

2、？204.10主要参数界面204.11PID值界面214.12手动界面214.13抽气界面214.14配方按钮224.15手动按钮224.16Realvalues界面234.17隔热笼手动操作界面244.18手动隔热笼界面254.19图表数据界面254.20功率曲线对比图274.21功率数据模式/步骤界面274.22模式/步骤界面-模式/步骤失效界面284.23“disablepowerprofile”按钮284.24“lastlogtable”按钮294.25同意/不同意功率曲线295.炉子的操作305.1概述305.2打开炉腔305.3取出长晶好的硅锭325.4DSS450卸锭3380

3、GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.5.5加入新硅料345.6自动运行375.7自动运行顺序395.8监控自动循环程序425.9报警响应435.10调节操作条件和跳步445.11终止自动运行455.12热电偶故障465.13炉子超温485.14水温485.15硅料溢流报警505.16测量硅锭长晶506.安装526.1必须设备526.2安装步骤527.退役538.先进功能538.1控制循环548.2DSS炉生长期间的操作顺序558.3配方的开发和修改578.4主参数的定义638.5故障的解决698.6下载新的软件7880GlorySiliconEnerg

4、y(Zhenjiang)Co.,Ltd.1.安全1.1本地代码和标准每一个用户都有责任.保证设计，设施的布置/连接和工艺流程状况符合本地代码和标准。1.2安全文件定向固化系统的安全文件都放在电柜门内。1.3安全符号这本手册里的下列安全符号着重强调了特别的信息或者警告了潜在的危险。用户有责任将这些符号的含义告诉给操作工，维修工和安装人员且让他们充分理解。每一个符号右边的概述说明了危险或者警告的严重性。用这些安全符号描述和代替符号右边的所有语句信息或者一部分信息。下面列出了本手册涉及到的安全说明和安全符号清单。所有的条款和说明都符合ANSIZ535.4(产品安全符号标志)，ISO3864（安全

5、颜色和安全符号）和IEC60417(关于设备使用的图解符号)指南，但文本已经修改了以便解释特殊的危险或者注意信息。危险说明危险，如果不注意避免会导致死亡或者严重的伤害。警告说明有潜在的危险，如果不注意避免会导致严重的伤害。注意说明有危险，如果不注意避免会导致中等程度的伤害。声明保护人员或者财产的声明。1.4安全保护措施按照本手册里描述的断开电源步骤操作。！危险危险的电压如果触摸电压，将被电击或者烧焦。维修前必须断开电源。80GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.在工艺操作期间，不要触摸热表面或者热材料。！警告必须戴安全手套。硅锭温度极高。在冷却循环期间不

6、要触摸硅锭。！注意不要触摸热表面维修前要冷却。卸下硅锭过程中，迅速冷却将造成坩埚裂碎。飞溅的碎片可能会烫伤操作工，所以必须戴上保护手套。！警告有烫伤眼睛的危险。必须戴上防护眼镜。1.4.1设备危险说明注意：设备危险包括多个压力点，高压和装卸期间暴露在外很热的接线端子。该设备有安全内锁装置和危险警告符号以保护操作工的人身安全。警告：不要触碰没有保护围栏的设备。警告：不要企图忽略任何安全内锁装置。当门和安全护栏没有位于正确位置时，这些内锁装置能避免自动操作。1.4.2高压保护说明仔细阅读这些操作指南能避免遭到潜在和致命的电击伤害，能防止设备遭受意外损害。尤其需要强调的是，在急停情况下，不要单独

7、一个人工作，必须协同另外的操作工一起工作。当你在周围有通电导线的场所或者有高压设备的地方工作时，你的一只手必须插在口袋里。穿上橡胶底的鞋子或者运动鞋。绝缘地板比金属地板或者裸露的水泥地面绝缘性好，但是这是由实际情况决定的（不在你的控制范围内）。一块橡胶垫是很好的绝缘体，但是一块毯子无论多厚都不是很好的绝缘体。戴上防护眼镜--较大的，有塑料透镜的眼镜或者护目镜。80GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)