多晶炉维护手册

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1、多晶炉维护手册1前言这本手册有保养，维修GTDSS多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用和保养多晶炉很重要，因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。手册内容：前言：安全注意事项第一单元：预防性保养预防性保养日程安排表预防性保养程序第二单元：维修更换顶部热电偶，氧化铝管和氧化锆管更换TC2更换溢流丝/拆除DS块组装下炉腔刹块调整下炉腔水平调整隔热笼的水平安装/拆除加热器-DSS240安装/拆除加热器-DSS450加热器电极的检查步骤安装/拆除隔热层安装/拆除铜电极顶部隔热笼的安装清洗氦气阀清洗水流量计第三单元：故障

2、指导解决警铃声响解决设备故障解决操作问题2安全注意事项安全标志：以下安全标志将会出现在本手册，来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危险。请确保维修人员，安装人员熟悉这些标志。危险----出现此标志代表所讲述的情况很危险，如果不避免的话可能会导致死亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。警告----出现此标志代表所讲述的情况有危险，会造成重伤。只有在完全了解了警告的讯息，才能开始进行。小心----出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障，中度受伤或资料遗失。注意----出现此标志代表提供重要的相关资料，提醒或建

3、议。安全措施：所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。在硅碇出炉时，硅碇温度大于400℃，绝对不能触碰。硅碇在出炉时会快速冷却，这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。设备多处有高压电，高热度部位，请注意设备上的安全标示。当接近有高压电处，请确保你有只手放在口袋里。操作时请穿橡胶底的鞋子。操作时一定要小心，不要自以为是。机器不使用时真空泵一定需关上。3第一单元：预防性保养参考用（预防性保养日程表）真空测量器校准粗略量程的真空测量器精密量程的真空测量器真空泵系统维修更换油–机械泵更换油–罗茨泵

4、检查轴带检查在支持泵上的电磁继电器下炉腔提升系统螺旋起重器软轴闸门离合器水电缆控制平台SlimPaksSlimPakAC测量SlimPakDC测量气体流量控制器检查比率阀清洗比率阀检查热区DSS-240DSS-4504参考用（预防性保养日程表）建议依照以下时间表定期执行预防性保养：维修项目执行时间真空测量器校准每3个月一次真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料检查油量一星期一次更换油–机械泵每6个月一次更换油–罗茨泵每6个月一次检查轴带每6个月一次检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次检查底炉下降系统：每3个月一次螺旋启动器

5、一个月一次软轴闸门一个月一次离合器一个月一次水电缆每6个月一次检查控制平台与其附属设备一个月一次电源供应系统校准每3个月一次检查SlimPak每6个月一次检查与校准气体流量控制器一个月一次检查比率阀一个月一次清洗比率阀每3个月一次检查热区一个月一次5真空测量器校准每3个月一次校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需要专业的仪器与工具，因此须由厂家或专业人士来处理。注意–在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟大量程的真空测量器为了调整大量程的真空测量器的零点，炉里的压力需要低于0.1mbar。

6、所以开启真空阀（V1）然后抽真空，直到大量程真空测量器显示低于0.1mbar。在控制平台点选ManualScreen，然后点选MaintScreen，输入正确的密码后，维护选项画面就会出现。真空测量器的数据就显示在AnalogInputs框里。在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟。1.如果荧幕上PressureGauge,Coarse并没显示0，调整较零器直到数据显示0±0.5mbar。2.回到ManualScreen，关闭截止阀(V1)然后输入氩气进炉内以达到大气层的压力。开启炉膛30秒让压力平稳下来，然后查看Pre

7、ssureGauge,Coarse的数据。数据应显示1000±10mbar。这数据会因所在地而有所不同。注意-数据会根据所在地而有所不同。因此请先确认所在地的大气层气压。3.如果大气层气压不在可接受的范围内，逆时针扭开测量器的红色盖子，调较零器直到数据显示正确。精密量程真空测量器1.在最理想的状态下，在调到“0”之前，炉里的压力需低于0.0001mbar。在大多数的情况下这是达不到的，所以最好是把荧幕上的数据跟外部的测量器数据做个比较。把外部测量器连接到多于的接口。2.把炉里的压力降的越低越好-至少<0.05mbar之后跟

8、外部测量器比较数据。注意你所选用的外部测量器，不要受到氩气或氦气的影响。开始对炉子进行抽气。记住不要用氩气和氦气回充。63.如果MaintenanceScreen的数据与外部测量器的数据不同，不在±0.01mbar以内，调整较零器直到两个数据相差在±0.01mbar以内。4.如果通过较零器还是无法调整，