gt 多晶炉维护手册

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1、GT多晶炉维护手册GT多晶炉维护手册.txt生活是一张千疮百孔的网，它把所有激情的水都漏光了。寂寞就是你说话时没人在听，有人在听时你却没话说了！ZhenjiangHuantaiSiliconScience&Technologyco.,LtdGT多晶炉维护手册GTSolarTechnologiesDirectionSolidificationSystem(DSS)ZhenjiangHuantaiSiliconScience&Technologyco.,Ltd前言这本手册有保养，维修GTDSS多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用和保养多晶炉很重要，因此使用前一定要熟读并且了解来预

2、防问题的发生。手册内容：前言：安全考量第一单元：预防性保养z预防性保养日程安排规阵z预防性保养程序第二单元：维修z更换热电偶和保护层z安装/拆除DS块z安装炉闸z调整低炉和隔热笼的高度z安装/拆除加热器z安装/拆除隔热层z安装/拆除电极管z清洗氦气阀z清洗水流探测器第三单元：故障指导z解决警铃声响z解决设备故障z解决操作问题ZhenjiangHuantaiSiliconScience&Technologyco.,Ltd安全考量安全标志：以下安全标志将会出现在本手册，来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危险。请确保维修人员，安装人员熟悉这些标志。危险----出现此标志代表所讲述的情

3、况很危险，如果不避免的话可能会导致死亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。警告----出现此标志代表所讲述的情况有危险，会造成重伤。只有在完全了解了警告的讯息，才能开始进行。小心----出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障，中度受伤或资料遗失。注意----出现此标志代表提供重要的相关资料，提醒或建议。安全措施：所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。z在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。z在硅碇出炉时，硅碇温度大于400℃，绝对不能触碰。z硅碇在出炉时会快速冷却，这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。z设备多处有高压电，高热度部位，请注意设备上的安全标示。z当接近有

4、高压电处，请确保你有只手放在口袋里。z操作时请穿橡胶底的鞋子。z操作时一定要小心，不要自以为是。z机器不使用时真空泵一定需关上。ZhenjiangHuantaiSiliconScience&Technologyco.,Ltd第一单元：预防性保养z参考用（预防性保养日程表）z真空测量器校准大量程的真空测量器精密的真空测量器z真空泵系统维修更换油–机械泵更换油–罗茨泵检查轴带检查在支持泵上的电磁继电器z底炉下降系统螺旋启动器软轴闸门离合器z水电缆z控制平台SlimPakszSlimPakAC测量zSlimPakDC测量z气体流量控制器z检查比率阀清洗比率阀z检查热区ZhenjiangH

5、uantaiSiliconScience&Technologyco.,Ltd参考用（预防性保养日程表）建议依照以下时间表定期执行预防性保养：维修项目执行时间真空测量器校准每3个月一次真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料检查油量一星期一次更换油–机械泵每6个月一次更换油–罗茨泵每6个月一次检查轴带每6个月一次检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次检查底炉下降系统：螺旋启动器软轴每3个月一次一个月一次闸门一个月一次离合器一个月一次水电缆每6个月一次检查控制平台与其附属设备一个月一次电源供应系统校准每3个月一次检查SlimPak每6个月一次检查与校准气体流量控制器一个月一次检查比率阀一个

6、月一次清洗比率阀每3个月一次检查热区一个月一次ZhenjiangHuantaiSiliconScience&Technologyco.,Ltdz真空测量器校准–每3个月一次校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需要专业的仪器与工具，因此须由厂家或专业人士来处理。注意–在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟z大量程的真空测量器为了调整大量程的真空测量器的零点，炉里的压力需要低于0.1mbar。所以开启真空阀（V1）然后抽真空，直到大量程真空测量器显示低于0.1mbar。在控制平台点选ManualScreen，然后点选MaintScreen，输入正确的密

7、码后，维护选项画面就会出现。真空测量器的数据就显示在AnalogInputs框里。在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟。1.如果荧幕上PressureGauge,Coarse并没显示0，调整较零器直到数据显示0±0.5mbar。2.回到ManualScreen，关闭截止阀(V1)然后输入氩气进炉内以达到大气层的压力。开启炉膛30秒让压力平稳下来，然后查看PressureGauge,Coarse的数据。数据应显示1000±10mbar。这数据会因所在地而有所不同。注