eqd-qc-xxx spc管控作业指导书(通用型)

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1、XXXXX有限公司三级文件文件编号EQD-QC-110类别EQDSPC管控作业指导书机密等级■机密■一般制订日期2012-10-12版本/次B/0页次13/13XXXX有限公司SPC管控作业指导书版次:B修改状态:0编制:时间:审核:时间:批准:时间:发放号码:受控状态:共14页年月日颁布年月日实施XXXX有限公司本文件为公司智慧财产，未经书面允许，不得以任何形式对外复制及发行-------------------------------------------------------------------------------

2、-----------------------------------------------------------------------------------------------XXXXX有限公司三级文件文件编号EQD-QC-110类别EQDSPC管控作业指导书机密等级■机密■一般制订日期2012-10-12版本/次B/0页次13/13修订履历修订后版本修订日期修订内容B/02012-10-12新版本首次发行---------------------------------------------------------

3、---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------XXXXX有限公司三级文件文件编号EQD-QC-110类别EQDSPC管控作业指导书机密等级■机密■一般制订日期2012-10-12版本/次B/0页次13/131.目的:为规范公司SPC管理，特制定本作业指导书。2.使用范围:2.1本规范适用于硅片制造全过程。2.2本规范主要定义了均植和极差值,标准差(

4、一R,一S控制图)、不合格品率的P-Chart控制图、CPK的运用。3.定义:3.1SPC------英文StatisticalProcessControl的字首简称，即统计过程控制。SPC就是应用统计技术对过程中的各个阶段进行监控，从而达到改进与保证质量的目的。SPC强调全过程的预防。3.2控制图------对过程质量加以测定、记录从而进行控制管理的一种用科学方法设计的图。图上有中心线(CL)、控制界限(UCL)和下控制界限(LCL)，并有按时间顺序抽取的样本统计量数值的描点序列。4.职责：4.1品质部现场QC负责收集数据绘制图表

5、;4.2QE负责输入SPC软件，QE分析过程控制能力。5.作业内容：5.1 一R,一S控制图对于计量值数据而言，这是最常用最基本的控制图。它用于控制对象为长度、重量、强度、纯度、时间和生产量等计量值的场合。一R,控制图主要用于观察分布的均值的变化，R控制图用于观察分布的分散情况或变异度的变化，而一R图则将二者联合运用，用于观察分布的变化。一S,控制图主要用于观察分布的均值的变化，S控制图与R控制图相似，只是用标准-------------------------------------------------------------

6、-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------XXXXX有限公司三级文件文件编号EQD-QC-110类别EQDSPC管控作业指导书机密等级■机密■一般制订日期2012-10-12版本/次B/0页次13/13差S代替极差R而已，但当样本量n>10时,这时应用极差估计总体标准差σ的效率减低,因将一S标准差二者联合运用，用于观察分布的变化。P控制图用于控制对象为

7、不合格品率或合格品率等计数值质量指标的场合。这里需要注意的是，在根据多种检查项目总合起来确定不合格品率的情况，当控制图显示异常后难以找出异常的原因。因此，使用p图时应选择重要的检查项目作为判断不合格品的依据。常见的不良率有不合格品率、废品率、交货延迟率等等。5.2一R控制图的制作：(组内样本量10个以内）步骤1：记录原始数据；●每天生产时根据SPC各工序的统计项目需要，需记录25组数据，其中白班13组，晚班12组，每组5个数据，以作一张完整的一R控制图；●根据每个工序的SPC管控项目需要，由现场检测QC每两小时一次随机抽取样品进行测

8、试，同时将检测试的数据记录在报表中并描好点(当出现超出规格的点时将机台和晶体编号需备注)。步骤2：计算样本均值；=(X1+X2+。。。+Xn)/n式中：X1，X2。。。为子组内的每个测量值。m为子组的样本容量。步骤3：计算样本极差R；