氦质谱检漏仪使用说明

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1、WORD文档可编辑氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图氦质谱检漏仪加压罐双级旋片真空泵电阻真空计氦气瓶重氟油粗检装置检漏盒检漏托盘氦气喷抢2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入

2、离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数技术资料专业分享WORD文档可编辑（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。氦离子流正比于容器中氦分压。因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W

3、。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。

4、技术资料专业分享WORD文档可编辑加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置；氦气瓶减压阀是否漏气现象。3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。重氟油粗检图31、查看温度检测线路和加热板线路没有破损。技术资料专业分享WORD文档可编辑1、在油箱中加入适量的重氟油2、插上电源

5、线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。当温度达到要求即可用来粗检产品。四、详细操作启动检漏仪1、连接电源插头，打开检漏仪开关。2、机械泵开始启动。3、面板上的指示灯亮。4、液晶屏（LCD）显示如下信息：PLEASEWAITHIGH.ACPUMP:1%当分子泵达到正常转速（100%）后，LCD显示：PLEASEWAIT00:09PLEASEWAITHIGH.ACPUMP:OKFILAMENTRAMPUP#2当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：READYFORCYCLEINLETVENT:ON如果检漏

6、仪存放一段时间后的启动如果检漏仪长时间不用后，再次开机会增加一额外的启动时间用来排出系统内的气体。此时屏幕显示如下图所示：PLEASEWAITStoragedays:Delay(mini:s):08:40ABORT?PRESSRESET技术资料专业分享WORD文档可编辑检漏方法概述根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图4所示被检件可以被抽真空？被检件可以被连接在真空管路上？是是全检（背压法）被检件可以被抽真空？是半检漏（喷氦法）（一）半检漏（喷氦法）的详细步骤：1、插上电源，打开检漏仪总开关。等待

7、2到3分钟，当听到一阵风鸣声之后说明检漏仪已完全启动。2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。打开检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；最后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，然后点击检漏按钮进行漏率检测。等漏率值稳定之后，拿装好氮气

8、的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这技术资料专业分享WORD文档可编辑是漏率值都会有相应的变化。如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。(二)全检（背压法）1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。2