氦质谱检漏仪的检漏方法

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1、氦检漏技术的应用1.检漏仪的应用8.氦质谱检漏仪的内部构造2.通常在检漏时容易遇到的问题9.氦气污染3.漏率的计算，定义和单位10.自动校准4.检漏的方法11.氦质谱检漏仪的选择5.氦检漏仪的检漏方式12.检漏前的准备和检漏的注意事项6.检漏时间13.Alcatel氦质谱检漏仪1.检漏仪的应用之后，检漏变得越发重要，尤其：为了防止系统内介质漏到系统外（污染环境）或系统外介质漏到系统内（影响系统操作）；用于检测一些不紧固的元器件检漏仪的应用检漏仪的应用电子和电力行业灯泡汽车行业半导体行业食品包装行业灯管安全气袋流量计医药行业变压器罐和管道集成电路起搏器断路开关空调气体管道

2、导管减震器显示输血管前灯药物包装散热器车轮传感器其它容器飞机制造行业液压元件核技术回旋装置元器件钟表行业航天机翼物理研究所发动机天线导弹粒子加速器腔通常在检漏时容易遇到的问题氦质谱检漏仪的检漏方法检漏仪中的高真空泵检漏仪早期甚至有用到扩散泵作为高真空泵，但是缺点非常明显：1.油的返流造成污染（要加Trap）2.油加热装置的不稳定容易造成泄露率显示的不确定采用分子泵则有点明显：1.无油，非常洁净的真空2.稳定的转速，非常利于在所能检测的最低值附近来确定泄露率的大小氦质谱检漏仪的检漏方法检漏时常遇到的问题被测件He检漏仪辅助泵氦质谱检漏仪的检漏方法检漏时常遇到的问题被测件

3、检漏仪究竟应该把检漏仪安装He高真空泵在哪个位置？？？罗茨泵前级泵漏率的计算，定义和单位流量的定义›流量体现的是在单位时间下流体分子数的多少›对于液体而言：•流量=液体泵的抽速体积流量=时间›而对于气体而言：•流量=泵的抽速x压力体积流量=x压力时间流量的定义•所以，在10bar下一升气体与在1bar下10升气体所含的气体分子数是相同的1升=10升AIR10bar1bar流量的定义我们的肺就象一台泵:S=4l/s当我们在海平面高度下跑步:泵的抽速是4l/s丝毫没有任何问题虽然泵的抽速并没有发生变化:4l/s,但是在山上的压力要比海平面的压力要低很多但是当我们在海拔很高的山上跑步

4、时:所以，吸氧量（流量）我们就觉得呼吸不过来了自然就大不相同了流量的定义流量PaF=PaxSa在每一个截面上，Pb气体的流F=PbxSb量都是相Pc同的F=PcxSc0c121漏率的计算虽然确切的计算泄漏量很难，但是可以用以下公式进行初步的估算（层流，20摄氏度空气）：Qpv=135xd4/Lx(Po2-Pi2)/2其中，d-漏点的直径，L-漏点的长度，Po-高压端压力，Pi-低压端压力漏率的定义和单位针对于一个体积(V)不变的容器,单位时间(Δt)内压力的变化量(ΔP)与该容器体积(V)的乘积就是泄漏量：QVxΔP/Δtleak=因此，泄漏量的单位通常用mbarl/s（也可

5、用Pam3/s,atmcc/s或Torrl/s）漏率的定义和单位真空系统中漏气/虚漏与抽气之间的平衡真空系统中漏气流量的平衡表示式如下:P=(Qo+∑Qi)/S+PoP-----系统达到的压力Po—真空泵的极限压力S-----真空系统的有效抽速Qo---由系统外部流向系统内部的总漏率∑Qi—虚漏所形成的总漏率(如材料表面出气等)漏率的定义和单位看!例如:假设对于一个体积一个气泡!为10升的容器，压力在80秒内的变化为2mbar，那么漏率Q=2mbarx1liters=0.25mbar.l/s.80seconds漏率的定义和单位mbar.liter/second›漏率其实反映的是在

6、一定时间内从泄漏的气体分子的数量.例如:假设漏率为1mbar.l/sec(20°C的空气)每秒将会有2.5*1019个空气分子逃逸!!!时间压力=1000mbar压力=1mbar25.000.000.000.000.000.000个空气分子/秒*漏率的定义和单位漏率的不同单位漏率反映的是气体的流量,例如在某一个特定压力下(Pa,atm,mbar,torr)的体积流量(m3/s,cc/s,l/s)atm.cc/s?Pa.m3/s?Torr.l/s?mbar.l/s?10-9mbar.l/s=10-9atm.cc/s=10-8Pa.m3/s=7,5.10-8torr.l/s不同应用对

7、漏率的要求漏率mbar.l/s(氦气)电子行业薄膜技术电力行业集成电路灯泡断路器汽车行业气囊工业应用减震器航天过滤器泵压缩机回旋装置医药行业起搏器制冷冰箱空调钟表行业研究所航空粒子加速器Airplanetanks核聚变飞机制造业食品包装导弹10-1210-1110-1010-910-810-710-610-510-410-3检漏的目的因此，检漏的目的在于将泄漏降低到一个可以接受的，不影响系统正常运行的程度！检漏的方法不同的检漏方法被测件内部压力>1000mbar被测件内部压力<1