氦质谱检漏仪使用说明 (1)

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1、氦质谱检漏仪使用说明氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2

2、打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。一、检漏仪工作原理豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明图2检漏仪工作原理图豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，

3、离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能1VentStartHold和Test按钮检漏仪开关时，控制各个阀的动作顺序2Pressure(压力指示)显示测试口压力，单位millitorr3Leakrate(漏率指示)显示漏率，单位stdcc/sec(标准立方厘米每秒)，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光二极管（LED）“over”和“under”显示。随“ra

4、nge”和“Hi-LoSensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示4、5、6、7、8或9作指数4Range（量程选择）量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度）豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明5Zero（调零）电位器调节零点6FIL(灯丝指示)质谱管灯丝发射后绿色LED显示灯亮，表示检漏仪处于测试状态7Hivacok（真空度ok）系统真空度达到要求后，绿色LED指示灯亮8Mainpower(主电源)检漏仪总电源控制9Focus(聚焦)调节聚焦电位10ION（离子源控制）调

5、节离子腔室电压，电位器可转10圈11Residualbackground(残余本底)二位选择开关，检测真空系统残余本底，通常打在Run（运行）位置，如果要测氦本底，则打至check(检测)位置。12Coarsezero(粗调)漏率显示粗调13Fil.Selector(灯丝选择)二位开关选择灯丝1或灯丝214Fil.On–Off（灯丝开关）开关离子源灯丝15EMIS（发射控制）通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射16AUDIO（声音调节）调节检漏仪板警声音豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明17CAL.（校准控制）校准电位器，使漏率读数和标准漏

6、孔一致18Hi-LowSENSITITY（高低灵敏度选择）二位开关选择高低灵敏度高灵敏度=10-9-10-6CC/SEC低灵敏度=10-8-10-5CC/SEC19可调磁铁调节离子源电流，得到最大灵敏度四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1)将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2)开前级机械泵电源；3)打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBOREADY”指示灯亮；4)“HIVACKOK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5)按下START键；6)当测试口压力降到绿色指示段（100milli

7、torr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor豪威真空光电股份有限公司文件共18页第18页氦质谱检漏仪使用说明以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；1)检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；2)被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1)按下VENT键；2)关掉检漏仪主电源；3)关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。