河南大学毕业论文

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1、目录摘乾10前B2(1)MEMS的基础理论2MEMS概述21.2MEMS的发展历程3(2)MEMS技术简介42.1设计与仿真技术4MEMS的材料选择5MEMS的加工工艺72.4封装与装配技术82.5测量与测试技术8(3)MEMS的应用8MEMS在汽车工业中的应用83.2MEMS在通信中的应用103.3MEMS在医学上的应用103.4微型泵的应用113.5微镜投影仪123.6MEMS在军事上的应用12(4)MEMS国内外研究现状134.1国外研究现状134.2鬧内研究现状14(5)MEMS发展应用前景及预测155.1应用前景155.

2、2我国MEMS前景预测176组仑17参考文献17MEMS的发展历程及前景展望单园园（河南大学物理与电了•学院，河南开封，475004）摘要：MEMS是在微电子技术基础上产生和发展起來的多学科交义的前沿科学研究领域，是而向21世纪的高新科技。MEMS足指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信兮处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。介绍ZMEMS的理论某础，综述了MEMS技术基础所涉及的设计与仿真、材料选择、加工工艺、封装与装配、测景与测试等领域，并对MEMS的实际应用、国内外发展现状及发展应用前景进行Y

3、较为全面的论述。在此基础上，展望了未来五年我国MEMS的发展趋势。关键词：微型机电系统（MEMS）;技术简介；应用；现状及展望DevelopmentProcessandProspectForecastofMEMSShanYuan-yuan(SchoolofPhysicsandElectronics,HenanUniversity,HenanKaifeng475004,China)Abstract:MicroElectroMechanicalSystem(MEMS)developsonthebasisofmicroelectroni

4、cs.Itisascientificresearchesfrontierofmulti-disciplinesandahightechnologyinthe21stcentury.MEMSisamicrocomponentorasystemwhichiscomposedofmicrostrures，microsensors，microactutorsandsignalprocessingcircuits，controlcircuits,kindsofinterfaces,communicationgcables,powers-su

5、pplies.ThepaperintroducestheoreticalbasisofMEMS.TheprincipaltechniquesofMEMSsuchasdesignandsimulation，materialselection，themanufactureprocesses,packagingandtestingarereviewed.Practicalapplication,presentdevelopmentsituationathomeandabroadandapplicationprospectarealsod

6、iscussedinthispaper.Furthermore，somepointsviewofdevelopingonMEMSinthefutureareputforward.Keywords:MicroElectroMechanicalSystem(MEMS)；technicalintroduction；application；stateofartandprospect0前言微型机电系统MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)技术是近.〉丨•年来发展起来的一个新兴的技术领域。不仅涉及微机械学、微电子

7、学、微光学、微流体力学、微热力学、自动控制、物理、化学、生物学以及材料学等学科领域，而且涉及从选材、设计、制造、控制到检测、集成、封装等一系列技术环节，屈于典型的多学科交叉的前沿性研究领域。微电子技术的巨大成功在许多领域引发了微小型化革命。一方而人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来，形成具有一定功能的微/纳米结构；另一方面人们利用精细加工手段加工出微/纳米级结构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生，后者则在微小型机械制造领域开始了一场新的革命，导致了微型机电系统的诞生。作为一个综合性的新型学科，微型机电系统技术已经

8、成为当今世界范内的研究热点，被列为二十一世纪关键技术之首。木文介绍了MEMS的理论基础，综述了MEMS技术所涉及的设计与仿真、材料选择、加工工艺、封装与装配、测量与测试等领域，并对MEMS的实际应用、W内外发展现状及发展应用前景进行了较为全而的论述