实验室流化床法制备太阳能级多晶硅研究

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1、青海大学硕士学位论文实验室流化床法制备太阳能级多晶硅研究姓名：李昀珺申请学位级别：硕士专业：材料学指导教师：铁生年20100401青海大学硕士学位论文摘要摘要随着全球太阳能电池产量快速增加，直接拉动了多晶硅需求的迅猛增长。多晶硅的生产仍是光伏产业链的能力制约因素。目前，太阳能级多晶硅制备的主流技术有改良西门子技术和硅烷法。由于国外技术封锁，我国现在引进的西门子技术三废问题多，能耗大。因此，依托高校以及研究院所，加强新一代低成本工艺技术基础性及前瞻性研究，建立低成本高纯度（太阳能级）多晶硅研究开发的知识及技术创新体系，对多晶硅生产工艺进行进一步开发和完善，获得具

2、有自主知识产权的生产工艺和技术，就具有迫切的现实意义。本研究采用自行设计的流化床反应器，通过还原反应对高纯硅进行反应处理，在其表面沉积出高纯度多晶硅，其中对环境污染小，对外依赖性小。实验中自行设计了一整套以流化床为核心的实验装置，并在此基础上探索了多晶硅的流化床法制备工艺，成功地制备了太阳能级多晶硅，其沉积率达到26.18%，纯度达到99.9992255%-99.9999026%。利用JSM-5610LV/INCA型扫描电子显微镜、MS2000型激光粒度分析仪及ICP光谱仪对样品进行了形貌、粒度变化及纯度分析。关键词：能源太阳能级多晶硅流化床I青海大学硕士学位

3、论文AbstractAbstractWiththerapidincreaseofsolarcellsinglobalproduction,itisstimulatingtherapidgrowthinpolysilicondemanddirectly.Theproductionofpolycrystallinesiliconphotovoltaicindustrychainisstillcapacityconstraints.Atpresent,solargradepolysiliconfabricationtechnologyhasimprovedthema

4、instreamofSiemenstechnologyandsilanemethod.Astheblockadeofforeigntechnology,ChinaisnowintroducingtheSiemenstechnologywasteproblemsandmoreenergyconsumption.Therefore,dependsontheuniversityaswellastheresearchinstituteinstitute,strengthensthenewgenerationlowcostprocessingtechnologyfoun

5、dationalandtheforward-lookingresearch,establishesthelowcosthigh-purity(thesolarenergylevel)thepolycrystallinesiliconresearchdevelopmentknowledgeandthetechnologicalinnovationsystem,carriesonthepolycrystallinesilicontechniqueofproductionfurtherdevelopsandconsµmmates,itisurgentpractica

6、lsignificancethatobtainstheproprietaryintellectualpropertyrightstechniqueofproductionandthetechnology.Thisresearchusesthefluidizedbedreactorwhichindependentlydesigns,carriesonresponseprocessingthroughreturntooriginalstatereactionpairsolarpolycrystallinesilicondepositsthehigh-purityp

7、olycrystallinesiliconinitssurface,issmalltotheenvironmentalpollution,theforeigndependenceissmall.Intheexperimenthasindependentlydesignedtheonewholesettakethefluidizedbedasthecoretestinstallation,basedonthisandhasexploredthepolycrystallinesiliconfluidizedbedpreparationcraft,hasprepar

8、edthesolargradepoly