MEMS执行器——微电机new

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1、微电机机电工程与自动化学院MEMS执行器微电机的概述微电机的分类介绍微电机的应用微电机的研究和发展方向论文结构微电机概述执行器根据信号处理，控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。可以通过静电力、电磁力、压电力、磁致伸缩、超声波和形状记忆合金膜片等驱动。.微执行器的核心部件是微电动机,在微执行器中占主导地位。根据其执行原理不同分为不同类型，其各自的性能和应用场合也各异。微电机概述各种执行方式比较静电执行材料简单需折中驱动力与位移大小执行相应速度快易受吸合效应的限制热执行能得到较大位移量功耗相对较大执行相应速度适中对环境温度变化敏感压电执行响应快速材料制备过

2、程复杂可得到较大的位移量低频工作时性能下降磁执行可产生较大角度位移量制造工艺较为复杂可使用很强磁力作为偏置片上螺线管制造较为复杂微电机概述微电机分类微电机静电型微电机电磁型微电机压电微电机形状记忆合金微电机磁致伸缩型微电机当两个导体施加电压的时候，会产生静电力。静电力的大小与尺寸的平方成反比。静电力很少用于驱动宏观机械，但是微型器件通常有较大的表面积体积比以及非常小的质量，使得静电力成为一种很有吸引力的微执行驱动源。静电型微电机可分为旋转式和直线式两种。微电机分类静电型微电机微电机分类旋转静电微电机对一组定子电极施加偏置电压，则该组中任一给定电极与其紧邻的转子轮齿

3、之间会产生面内电场，并在它们之间产生静电引力，从而使轮齿与定子对准，通过分组连续激励定子电极，转子可以实现持续的运动。静电型微电机旋转静电微电机的结构微电机分类静电型微电机微电机分类静电型微电机静电驱动薄膜直线电机基于平行板电容器的基本结构，平行板相对运动有两种——法向移动和切向移动，当固定其中的一个平板，另一块用机械弹簧悬吊，在偏置电压下，平板将产生位移。两平行板间施加电压,载荷会产生静电力Fe假设平板的平衡位置为x，x轴方向沿着间隙变大的方向，位移为x时，电极间的距离变为d+x,在平衡位置的静电力为微电机分类静电型微电机在位移x处，机械回复力与静电力大小相等，

4、对上述等式整理可得两个电容器极板之间的平衡距离可以通过求解上述关于x的二次方程得到。微电机分类静电型微电机微电机分类优点结构简单功耗低响应快静电型微电机缺点驱动电压大输出力矩小电磁型微电机电磁型超微电动机的研究始于20世纪90年代,根据电磁间互相作用产生的电磁力作驱动力驱动转子旋转。电磁型超微电动机基于传统电磁理论设计,多采用无刷电机结构。电磁微电机的结构微电机分类根据磁执行原理，利用磁场产生力、力矩或者微结构的位移，驱动磁场作用在载流导线、电感线圈或者磁性材料。微电机分类电磁型微电机微电机分类电磁型微电机微电机分类电磁型微电机优点驱动力矩大驱动电压低易于装配缺点

5、结构复杂与IC工艺兼容性差压电微电机压电电动机按结构可分为行波压电电动机、驻波压电电动机和复合压电电动机;按照电机激励部分的材料可分为薄膜压电电动机和陶瓷压电电动机。压电电动机由于输出转矩大、无电磁干扰、响应速度快、微小位移输出稳定等优点,可用于精密仪器、照相机、机器人及航空领域。如日本Canon公司将圆环式行波超声波电动机用于镜头的驱动，微电机分类在压电陶瓷片上施加电信号,使之产生一定轨迹的机械振动,激励与其粘接在一起的定子弹性体的振动,通过弹性体与转子间的相互作用驱动转子运动。微电机分类压电超声波微电机的结构压电微电机微电机分类微电机分类压电微电机优点响应速度

6、快输出转矩高廉价质轻缺点材料制备复杂电机难以实现匀速寿命短微电机分类压电微电机形状记忆合金微电机执行机构比较简单，有偏置式和推挽式两种。按电机的运动形式，其基本结构可分为直线位移型和旋转位移型。微电机分类直线位移型SMA电机形状记忆合金微电机微电机分类旋转位移型SMA电机对偏置式而言，加热SMA弹簧，相变发生，形状回复力克服弹簧拉力，产生动作。冷却时，SMA发生逆相变，此时，SMA弹簧很软，在拉伸弹簧的作用下，驱动器恢复到原来的位置。如此反复，可使电机输出位移。对推挽式而言，加热一侧SMA的同时，冷却另一侧的SMA，电机具有双向做功的能力。一般来说，推挽式比偏置式

7、的输出功率太，能量转换效率高。微电机分类形状记忆合金微电机微电机的分类优点驱动电压低结构简单电场干扰小无振动噪声、无污染对人体无毒害作用缺点记忆形状具有一定不稳定性材料特性的变化会改变驱动频率连接元件易损耗形状记忆合金微电机磁致伸缩型微电机某些材料置于磁场中，其几何尺寸会发生变化，这一现象称为磁致伸缩效应，这些材料则称为磁致伸缩金属。根据材料几何尺寸变化形式的不同,磁致伸缩效应又可分为纵向效应、横向效应、握转效应和体积效应。磁致伸缩型电动机是利用磁致伸缩效应,在磁场激励源下，通过磁致伸缩型驱动器实现能量转换。可分为直线型和旋转型两种。微电机分类磁致伸缩型微电机微电

8、机分类主要