GBT26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则.pdf

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1、ICS37．020：17．180N33囝目中华人民共和国国家标准GB／T26533--201I俄歇电子能谱分析方法通则GeneralrulesforAugerelectronspectroscopicanalysis2011-05-12发布2011-12-01实施宰瞀鹃鬻瓣警麟瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111目次GB／T26533--2011前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一Ⅲ1范围·······⋯⋯⋯--------⋯·--·-·⋯⋯·⋯-⋯⋯⋯⋯⋯⋯·····⋯·····⋯-----·⋯---·

2、····⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．．-12规范性引用文件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯···⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·13术语和定义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯14方法原理⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．15仪器⋯··⋯·⋯⋯·······-·⋯·-----⋯⋯--·⋯--··⋯--······-⋯⋯⋯⋯·⋯········⋯--------⋯···⋯···⋯⋯·-·25．1仪器组成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯--2

3、5．2仪器性能⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．36样品⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯-··⋯⋯---⋯---·⋯--------⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯--⋯⋯---37分析步骤⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯·····⋯⋯··⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯～47．1能量标尺校正⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·47．2AES定性分析及操作步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯67．3俄歇电子能谱的定量分析⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

4、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一67．4深度剖析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯········⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯77．5元素化学态分析⋯·····⋯⋯⋯··⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯·78分析结果的表述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯··⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯78．1俄歇全谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··········⋯···⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．78．2窄谱⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“78．3线扫描谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯········⋯⋯··

5、·⋯⋯·⋯⋯⋯⋯···⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯--78．4深度剖析谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··⋯·⋯⋯⋯⋯⋯····⋯⋯···⋯⋯··78．5多点显微对比分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯88．6样品表面元素分布图(Augermap)⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一88．7分析结果表述方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯8图1KL。乙3俄歇跃迁⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯图2俄歇电子能谱简图⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

6、·图3Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0．3％)⋯⋯⋯·表1参考物质的俄歇电子动能参考值25刖胃本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC／TC38)提出并归日。本标准起草单位：清华大学化学系。本标准主要起草人：姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。GB／T26533--2011Ⅲ1范围俄歇电子能谱分析方法通则GB／T26533—2011本标准规定了以电子柬为激发源的俄歇电子能谱(AES，AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪

7、。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T22461--2008表面化学分析词汇ISO／TR15969：2001表面化学分析深度分析溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling--MeasurementofSputteredDepth)IS018116：2005表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnal—ysis—Guideline

8、sforPreparationandMounting