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时间:2018-01-08
《GBT 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、ICS37.020:17.180N33囝目中华人民共和国国家标准GB/T26533--201I俄歇电子能谱分析方法通则GeneralrulesforAugerelectronspectroscopicanalysis2011-05-12发布2011-12-01实施宰瞀鹃鬻瓣警麟瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111目次GB/T26533--2011前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一Ⅲ1范围·······⋯⋯⋯--------⋯·--·-·⋯⋯·⋯-⋯⋯⋯⋯⋯⋯·····⋯·····⋯-----·⋯---·····⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
2、..-12规范性引用文件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯···⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·13术语和定义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯14方法原理⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.15仪器⋯··⋯·⋯⋯·······-·⋯·-----⋯⋯--·⋯--··⋯--······-⋯⋯⋯⋯·⋯········⋯--------⋯···⋯···⋯⋯·-·25.1仪器组成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯--25.2仪器性能⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
3、⋯⋯⋯··⋯····⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..36样品⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯-··⋯⋯---⋯---·⋯--------⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯--⋯⋯---37分析步骤⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯·····⋯⋯··⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~47.1能量标尺校正⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·47.2AES定性分析及操作步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯67.3俄歇电子能谱的定量分析⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一67.4深度剖析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯
4、········⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯77.5元素化学态分析⋯·····⋯⋯⋯··⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯·78分析结果的表述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯··⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯78.1俄歇全谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··········⋯···⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..78.2窄谱⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“78.3线扫描谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯········⋯⋯···⋯⋯·⋯⋯⋯⋯···⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯--78.4深度剖析谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯··⋯·⋯⋯⋯⋯⋯····⋯⋯···⋯⋯··78.5多点显微对比分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯88.6样品表面元素分布图(Augermap)⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一88.7分析结果表述方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯8图1KL。乙3俄歇跃迁⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯图2俄歇电子能谱简图⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·图3Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%)⋯⋯⋯·表1参考物质的俄歇电子动能
6、参考值25刖胃本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归日。本标准起草单位:清华大学化学系。本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。GB/T26533--2011Ⅲ1范围俄歇电子能谱分析方法通则GB/T26533—2011本标准规定了以电子柬为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其
7、最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T22461--2008表面化学分析词汇ISO/TR15969:2001表面化学分析深度分析溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling--MeasurementofSputteredDepth)IS018116:2005表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnal—ysis—GuidelinesforPreparationandMounting
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